中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2014年
5期
596-601
,共6页
郝永平%董福禄%张嘉易%包丽雅
郝永平%董福祿%張嘉易%包麗雅
학영평%동복록%장가역%포려아
微机电系统%微装配%微夹持器%压电陶瓷%柔性铰链%非线性回归
微機電繫統%微裝配%微夾持器%壓電陶瓷%柔性鉸鏈%非線性迴歸
미궤전계통%미장배%미협지기%압전도자%유성교련%비선성회귀
micro-electro mechanical system (MEMS)%micro-assembly%micro-gripper%piezoe-lectric transducer(PZT)%flexible hinge%nonlinear regression
微夹持器作为末端执行装置,直接决定了微装配的效率.MEMS机构中包含许多微小的活动部件和功能元件,为实现这些微小器件的稳定夹取和自动装配,设计了一种采用压电陶瓷驱动、基于柔性铰链的二级放大微夹持器结构.对该微夹持器的节点应力、刚度及最大张合量等进行了分析计算,并对微夹持器进行了试制.实验与分析结果表明,该夹持器最大张合量是245μm,放大倍数约为12.3倍,满足MEMS机构的装配要求.在此基础上,重点对张合量与夹持力进行了系统测试,通过对测试数据的非线性回归,推导出99.99％可靠度的驱动电压计算公式,实现了微夹持的精确控制.
微夾持器作為末耑執行裝置,直接決定瞭微裝配的效率.MEMS機構中包含許多微小的活動部件和功能元件,為實現這些微小器件的穩定夾取和自動裝配,設計瞭一種採用壓電陶瓷驅動、基于柔性鉸鏈的二級放大微夾持器結構.對該微夾持器的節點應力、剛度及最大張閤量等進行瞭分析計算,併對微夾持器進行瞭試製.實驗與分析結果錶明,該夾持器最大張閤量是245μm,放大倍數約為12.3倍,滿足MEMS機構的裝配要求.在此基礎上,重點對張閤量與夾持力進行瞭繫統測試,通過對測試數據的非線性迴歸,推導齣99.99％可靠度的驅動電壓計算公式,實現瞭微夾持的精確控製.
미협지기작위말단집행장치,직접결정료미장배적효솔.MEMS궤구중포함허다미소적활동부건화공능원건,위실현저사미소기건적은정협취화자동장배,설계료일충채용압전도자구동、기우유성교련적이급방대미협지기결구.대해미협지기적절점응력、강도급최대장합량등진행료분석계산,병대미협지기진행료시제.실험여분석결과표명,해협지기최대장합량시245μm,방대배수약위12.3배,만족MEMS궤구적장배요구.재차기출상,중점대장합량여협지력진행료계통측시,통과대측시수거적비선성회귀,추도출99.99％가고도적구동전압계산공식,실현료미협지적정학공제.
