电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
8期
20-24
,共5页
直拉单晶炉改造%三段式导流筒%保温碳毡%保温罩%数值模拟
直拉單晶爐改造%三段式導流筒%保溫碳氈%保溫罩%數值模擬
직랍단정로개조%삼단식도류통%보온탄전%보온조%수치모의
改进CG6000型单晶炉的热场,增加下保温碳毡和上保温罩,改一段式导流筒为三段式导流筒.通过CG sim模拟软件的晶体生长模拟,对比了改进前与改进后的热场,模拟分析指出改进后热场加热功率降低,熔体温场改善,晶体、熔体轴向的温度梯度均升高,拉晶速率提升.通过单晶生长实验,验证了热场功率的降低和等径拉速的提高,改善在等径生长的后期更为明显.
改進CG6000型單晶爐的熱場,增加下保溫碳氈和上保溫罩,改一段式導流筒為三段式導流筒.通過CG sim模擬軟件的晶體生長模擬,對比瞭改進前與改進後的熱場,模擬分析指齣改進後熱場加熱功率降低,鎔體溫場改善,晶體、鎔體軸嚮的溫度梯度均升高,拉晶速率提升.通過單晶生長實驗,驗證瞭熱場功率的降低和等徑拉速的提高,改善在等徑生長的後期更為明顯.
개진CG6000형단정로적열장,증가하보온탄전화상보온조,개일단식도류통위삼단식도류통.통과CG sim모의연건적정체생장모의,대비료개진전여개진후적열장,모의분석지출개진후열장가열공솔강저,용체온장개선,정체、용체축향적온도제도균승고,랍정속솔제승.통과단정생장실험,험증료열장공솔적강저화등경랍속적제고,개선재등경생장적후기경위명현.
