电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
8期
8-10,14
,共4页
机台的工艺时间参数%工艺处理周期时间参数%工艺传递周期时间参数
機檯的工藝時間參數%工藝處理週期時間參數%工藝傳遞週期時間參數
궤태적공예시간삼수%공예처리주기시간삼수%공예전체주기시간삼수
涂胶显影机的产能设计是一个重要部分,通过对机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺传递周期时间参数等核心参数的设计,有效地配置工艺处理模块的数量及位置、工艺传递晶圆的速度及路线,搭建出目标机台内的工艺模块组成架构,确定出目标机台内的各个机器人技术参数,满足与光刻机联线生产的量产涂胶显影机对产能的技术需求.
塗膠顯影機的產能設計是一箇重要部分,通過對機檯的工藝時間參數、工藝處理週期時間參數、工藝傳遞週期時間參數等覈心參數的設計,有效地配置工藝處理模塊的數量及位置、工藝傳遞晶圓的速度及路線,搭建齣目標機檯內的工藝模塊組成架構,確定齣目標機檯內的各箇機器人技術參數,滿足與光刻機聯線生產的量產塗膠顯影機對產能的技術需求.
도효현영궤적산능설계시일개중요부분,통과대궤태적공예시간삼수、공예처리주기시간삼수、공예전체주기시간삼수등핵심삼수적설계,유효지배치공예처리모괴적수량급위치、공예전체정원적속도급로선,탑건출목표궤태내적공예모괴조성가구,학정출목표궤태내적각개궤기인기술삼수,만족여광각궤련선생산적양산도효현영궤대산능적기술수구.
