电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
8期
1-7,19
,共8页
张海波%林妩媚%廖志杰%白瑜%冯建美%邢廷文
張海波%林嫵媚%廖誌傑%白瑜%馮建美%邢廷文
장해파%림무미%료지걸%백유%풍건미%형정문
光刻机%照明系统%专利分析%专利统计
光刻機%照明繫統%專利分析%專利統計
광각궤%조명계통%전리분석%전리통계
为了解光刻机照明系统的技术发展方向和技术研究热点及技术成熟度,并为科研人员提供技术参考,对光刻机照明系统技术专利文献进行了检索,并对专利文献数据进行了统计分析,分别从专利权人分布、国际专利分类号分布、专利申请国分布和年度发展趋势及技术生命周期等几个方面进行统计分析,揭示了国内外光刻机照明系统专利申请的主要专利权人依次为阿斯麦、尼康、佳能和蔡司,专利文件分布的主要技术领域为半导体器件和其部件的制造处理等方面,专利文件的年度申请在2004年出现最高峰,之后开始下降,并结合技术生命周期曲线图,指出光刻机照明系统技术已经历了从萌芽、发展、成熟阶段.同时进行了重要专利文件的挖掘,分析了技术研究热点,追踪核心专利文件的技术发展脉络;并对偏振照明技术作出技术—功效矩阵分析图,分析出技术研究热点,并提出我国科研人员应利用未在我国进行保护的重要专利技术,为我国企业提出了专利申请的相关建议,节省研发时间.
為瞭解光刻機照明繫統的技術髮展方嚮和技術研究熱點及技術成熟度,併為科研人員提供技術參攷,對光刻機照明繫統技術專利文獻進行瞭檢索,併對專利文獻數據進行瞭統計分析,分彆從專利權人分佈、國際專利分類號分佈、專利申請國分佈和年度髮展趨勢及技術生命週期等幾箇方麵進行統計分析,揭示瞭國內外光刻機照明繫統專利申請的主要專利權人依次為阿斯麥、尼康、佳能和蔡司,專利文件分佈的主要技術領域為半導體器件和其部件的製造處理等方麵,專利文件的年度申請在2004年齣現最高峰,之後開始下降,併結閤技術生命週期麯線圖,指齣光刻機照明繫統技術已經歷瞭從萌芽、髮展、成熟階段.同時進行瞭重要專利文件的挖掘,分析瞭技術研究熱點,追蹤覈心專利文件的技術髮展脈絡;併對偏振照明技術作齣技術—功效矩陣分析圖,分析齣技術研究熱點,併提齣我國科研人員應利用未在我國進行保護的重要專利技術,為我國企業提齣瞭專利申請的相關建議,節省研髮時間.
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