光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
9期
2444-2450
,共7页
李家文%陈宇航%胡衍雷%劳召欣%褚家如%黄文浩
李傢文%陳宇航%鬍衍雷%勞召訢%褚傢如%黃文浩
리가문%진우항%호연뢰%로소흔%저가여%황문호
二维零位光栅%自动对准%定位算法%电路噪声%精度分析
二維零位光柵%自動對準%定位算法%電路譟聲%精度分析
이유령위광책%자동대준%정위산법%전로조성%정도분석
two-dimensional zero-reference grating%automatic alignment%positioning algorithm%circuit noise%precision analysis
搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统.首先,加工了栅格间距为5 μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然后,分析设计了光栅系统光电转换电路和数据控制电路,实现了系统数据采集、显示和运动控制等功能.在此基础上搭建了基于二维零位光栅的纳米定位系统,并利用积分法实现了二维方向的自动定位.实验结果表明,系统定位速度对透射光强分布具有很高的依赖性,系统一次定位的成功率与初始位置密切相关.若起始位置在以零位为中心,半径为2.5 μm圆形区域内,系统可实现纳米量级定位对准;当起始位置在以零位为中心,5～200 μm为半径的圆环范围内,自动定位可能存在盲点,但通过改变初始位置重新进行搜索,仍然能够准确地实现纳米定位.
搭建瞭能夠在二維方嚮上實現納米級定位的二維自動定位繫統.首先,加工瞭柵格間距為5 μm的64×64編碼的透射式二維零位光柵;然後,分析設計瞭光柵繫統光電轉換電路和數據控製電路,實現瞭繫統數據採集、顯示和運動控製等功能.在此基礎上搭建瞭基于二維零位光柵的納米定位繫統,併利用積分法實現瞭二維方嚮的自動定位.實驗結果錶明,繫統定位速度對透射光彊分佈具有很高的依賴性,繫統一次定位的成功率與初始位置密切相關.若起始位置在以零位為中心,半徑為2.5 μm圓形區域內,繫統可實現納米量級定位對準;噹起始位置在以零位為中心,5～200 μm為半徑的圓環範圍內,自動定位可能存在盲點,但通過改變初始位置重新進行搜索,仍然能夠準確地實現納米定位.
탑건료능구재이유방향상실현납미급정위적이유자동정위계통.수선,가공료책격간거위5 μm적64×64편마적투사식이유령위광책;연후,분석설계료광책계통광전전환전로화수거공제전로,실현료계통수거채집、현시화운동공제등공능.재차기출상탑건료기우이유령위광책적납미정위계통,병이용적분법실현료이유방향적자동정위.실험결과표명,계통정위속도대투사광강분포구유흔고적의뢰성,계통일차정위적성공솔여초시위치밀절상관.약기시위치재이령위위중심,반경위2.5 μm원형구역내,계통가실현납미량급정위대준;당기시위치재이령위위중심,5～200 μm위반경적원배범위내,자동정위가능존재맹점,단통과개변초시위치중신진행수색,잉연능구준학지실현납미정위.
