光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
9期
2381-2388
,共8页
赵阳%裘安萍%施芹%夏国明%赵健
趙暘%裘安萍%施芹%夏國明%趙健
조양%구안평%시근%하국명%조건
硅微陀螺仪%零偏稳定性%机械耦合误差%前置接口放大器
硅微陀螺儀%零偏穩定性%機械耦閤誤差%前置接口放大器
규미타라의%령편은정성%궤계우합오차%전치접구방대기
silicon microgyroscope%bias stability%mechanical coupling error%interface preamplifier
为了进一步提高硅微陀螺仪的零偏稳定性,使其满足更高精度应用场合的需求,研究了硅微陀螺仪零偏稳定性优化技术.以典型Z轴硅微陀螺仪为例,对影响其零偏稳定性的主要因素:机械耦合误差、电路耦合误差、机械热噪声、接口电路噪声进行了完整分析,并从抑制零偏温度漂移及输出噪声两个角度提出了改善硅微陀螺仪零偏稳定性的设计原则.基于上述原则,优化设计了硅微陀螺仪的机械结构及接口电路.最后对所设计的硅微陀螺仪进行了零偏稳定性测试,以验证所提出优化设计原则的有效性.实验结果表明,4个测试组的硅微陀螺仪零偏输出均无明显漂移,且零偏稳定性在6(°)/h左右,达到了中等战术级水平.
為瞭進一步提高硅微陀螺儀的零偏穩定性,使其滿足更高精度應用場閤的需求,研究瞭硅微陀螺儀零偏穩定性優化技術.以典型Z軸硅微陀螺儀為例,對影響其零偏穩定性的主要因素:機械耦閤誤差、電路耦閤誤差、機械熱譟聲、接口電路譟聲進行瞭完整分析,併從抑製零偏溫度漂移及輸齣譟聲兩箇角度提齣瞭改善硅微陀螺儀零偏穩定性的設計原則.基于上述原則,優化設計瞭硅微陀螺儀的機械結構及接口電路.最後對所設計的硅微陀螺儀進行瞭零偏穩定性測試,以驗證所提齣優化設計原則的有效性.實驗結果錶明,4箇測試組的硅微陀螺儀零偏輸齣均無明顯漂移,且零偏穩定性在6(°)/h左右,達到瞭中等戰術級水平.
위료진일보제고규미타라의적령편은정성,사기만족경고정도응용장합적수구,연구료규미타라의령편은정성우화기술.이전형Z축규미타라의위례,대영향기령편은정성적주요인소:궤계우합오차、전로우합오차、궤계열조성、접구전로조성진행료완정분석,병종억제령편온도표이급수출조성량개각도제출료개선규미타라의령편은정성적설계원칙.기우상술원칙,우화설계료규미타라의적궤계결구급접구전로.최후대소설계적규미타라의진행료령편은정성측시,이험증소제출우화설계원칙적유효성.실험결과표명,4개측시조적규미타라의령편수출균무명현표이,차령편은정성재6(°)/h좌우,체도료중등전술급수평.
