材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2014年
18期
137-140
,共4页
多晶硅%多坑%反射率%绒面%数值模拟
多晶硅%多坑%反射率%絨麵%數值模擬
다정규%다갱%반사솔%융면%수치모의
multicrystalline silicon%multi hole pit%reflectivity%texturing%numerical simulation
基于麦克斯韦方程组和材料本构方程,利用多物理场有限元软件COMSOL Multiphysics 3.5a中的RF模块建立了多坑绒面的有限元模型,并对硅片腐蚀前后的光学特性进行了模拟.研究表明,与硅片腐蚀前相比,腐蚀后(即多坑)绒面反射率较低,功率流y分量较高,具有较好的陷光效果,当波长为800 nm时,多坑绒面表面电场z分量的最大值和最小值分别为腐蚀前硅片的3.1倍和2.3倍,而表面磁场y分量两个极值分别为腐蚀前硅片的6倍和6.6倍;通过将模拟结果和实验数据比较可知,多坑模型模拟结果更接近实验值,所获模拟结果可更好地指导实际生产.
基于麥剋斯韋方程組和材料本構方程,利用多物理場有限元軟件COMSOL Multiphysics 3.5a中的RF模塊建立瞭多坑絨麵的有限元模型,併對硅片腐蝕前後的光學特性進行瞭模擬.研究錶明,與硅片腐蝕前相比,腐蝕後(即多坑)絨麵反射率較低,功率流y分量較高,具有較好的陷光效果,噹波長為800 nm時,多坑絨麵錶麵電場z分量的最大值和最小值分彆為腐蝕前硅片的3.1倍和2.3倍,而錶麵磁場y分量兩箇極值分彆為腐蝕前硅片的6倍和6.6倍;通過將模擬結果和實驗數據比較可知,多坑模型模擬結果更接近實驗值,所穫模擬結果可更好地指導實際生產.
기우맥극사위방정조화재료본구방정,이용다물리장유한원연건COMSOL Multiphysics 3.5a중적RF모괴건립료다갱융면적유한원모형,병대규편부식전후적광학특성진행료모의.연구표명,여규편부식전상비,부식후(즉다갱)융면반사솔교저,공솔류y분량교고,구유교호적함광효과,당파장위800 nm시,다갱융면표면전장z분량적최대치화최소치분별위부식전규편적3.1배화2.3배,이표면자장y분량량개겁치분별위부식전규편적6배화6.6배;통과장모의결과화실험수거비교가지,다갱모형모의결과경접근실험치,소획모의결과가경호지지도실제생산.
