广西师范大学学报（自然科学版）
廣西師範大學學報（自然科學版）
엄서사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF GUANGXI NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
2期
55-59
,共5页
四甲基氢氧化铵%硅湿法刻蚀%过硫酸铵%异丙醇
四甲基氫氧化銨%硅濕法刻蝕%過硫痠銨%異丙醇
사갑기경양화안%규습법각식%과류산안%이병순
TMAH%silicon wet etching%ammonium persulfate%isopropyl alcohol
四甲基氢氧化铵(TMAH)是一种在微机电系统加工中常用的硅湿法刻蚀剂.在对含有铝结构表面的硅器件进行湿法刻蚀时,需要在TMAH溶液中添加一定量的硅酸和氧化剂,以保护器件表面的金属铝,但这会降低硅表面的光洁度.本文在含硅酸的TMAH溶液中同时添加过硫酸铵和异丙醇2种物质,研究其对TMAH刻蚀作用的影响.研究结果表明,2种物质的协同作用能够显著提高硅刻蚀表面的光洁度.
四甲基氫氧化銨(TMAH)是一種在微機電繫統加工中常用的硅濕法刻蝕劑.在對含有鋁結構錶麵的硅器件進行濕法刻蝕時,需要在TMAH溶液中添加一定量的硅痠和氧化劑,以保護器件錶麵的金屬鋁,但這會降低硅錶麵的光潔度.本文在含硅痠的TMAH溶液中同時添加過硫痠銨和異丙醇2種物質,研究其對TMAH刻蝕作用的影響.研究結果錶明,2種物質的協同作用能夠顯著提高硅刻蝕錶麵的光潔度.
사갑기경양화안(TMAH)시일충재미궤전계통가공중상용적규습법각식제.재대함유려결구표면적규기건진행습법각식시,수요재TMAH용액중첨가일정량적규산화양화제,이보호기건표면적금속려,단저회강저규표면적광길도.본문재함규산적TMAH용액중동시첨가과류산안화이병순2충물질,연구기대TMAH각식작용적영향.연구결과표명,2충물질적협동작용능구현저제고규각식표면적광길도.
