微电机
微電機
미전궤
MICROMOTORS SERVO TECHNIQUE
2014年
5期
21-26
,共6页
可变电容%静电微电机%优化设计%有限元分析
可變電容%靜電微電機%優化設計%有限元分析
가변전용%정전미전궤%우화설계%유한원분석
variable capacitance%electrostatic micromotor%optimization design%finite element analysis
针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型.在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法,并通过有限元分析对提出的方法进行了有效性验证,实现了静电微电机的快速优化设计.
針對頂麵驅動可變電容式靜電微電機的參數優化設計問題,建立瞭一般解析物理描述模型,併給齣瞭優化問題的數學模型.在攷慮電機結構呎吋和電機控製方法優化的同時,結閤數值積分方法和遺傳算法,提齣一種簡單高效的優化設計方法,併通過有限元分析對提齣的方法進行瞭有效性驗證,實現瞭靜電微電機的快速優化設計.
침대정면구동가변전용식정전미전궤적삼수우화설계문제,건립료일반해석물리묘술모형,병급출료우화문제적수학모형.재고필전궤결구척촌화전궤공제방법우화적동시,결합수치적분방법화유전산법,제출일충간단고효적우화설계방법,병통과유한원분석대제출적방법진행료유효성험증,실현료정전미전궤적쾌속우화설계.