材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2014年
13期
72-77
,共6页
静态磁场%动态磁场%晶体生长%熔体对流%单晶硅%多晶硅
靜態磁場%動態磁場%晶體生長%鎔體對流%單晶硅%多晶硅
정태자장%동태자장%정체생장%용체대류%단정규%다정규
static magnetic field%non-static magnetic field%crystal growth%melt flow%mono-silicon%multicrystalline silicon
针对磁场在晶体生长中的应用,综述了近年来该领域数值模拟和实验研究的进展,包括静态磁场和动态磁场的产生原理及其在晶体生长中的效应.分析了晶体生长过程中存在的主要流动.综述了晶体生长过程中磁场力对导电熔体对流、固液界面形貌和杂质分布的影响,重点分析了磁场在直拉法单晶硅和定向凝固法多晶硅生长过程中的应用,总结了该领域当前存在的问题及其发展趋势.
針對磁場在晶體生長中的應用,綜述瞭近年來該領域數值模擬和實驗研究的進展,包括靜態磁場和動態磁場的產生原理及其在晶體生長中的效應.分析瞭晶體生長過程中存在的主要流動.綜述瞭晶體生長過程中磁場力對導電鎔體對流、固液界麵形貌和雜質分佈的影響,重點分析瞭磁場在直拉法單晶硅和定嚮凝固法多晶硅生長過程中的應用,總結瞭該領域噹前存在的問題及其髮展趨勢.
침대자장재정체생장중적응용,종술료근년래해영역수치모의화실험연구적진전,포괄정태자장화동태자장적산생원리급기재정체생장중적효응.분석료정체생장과정중존재적주요류동.종술료정체생장과정중자장력대도전용체대류、고액계면형모화잡질분포적영향,중점분석료자장재직랍법단정규화정향응고법다정규생장과정중적응용,총결료해영역당전존재적문제급기발전추세.
