科技与企业
科技與企業
과기여기업
KEJI YU QIYE
2014年
6期
244-244,246
,共2页
工艺冷却水%开式系统%闭式系统
工藝冷卻水%開式繫統%閉式繫統
공예냉각수%개식계통%폐식계통
工艺冷却水系统常用于半导体、微电子等行业中关键设备的间接冷却。工艺冷却水系统分为开式系统和闭式系统，对工艺冷却水系统组成、工作原理、系统特点及系统模式选择等内容进行了研究。
工藝冷卻水繫統常用于半導體、微電子等行業中關鍵設備的間接冷卻。工藝冷卻水繫統分為開式繫統和閉式繫統，對工藝冷卻水繫統組成、工作原理、繫統特點及繫統模式選擇等內容進行瞭研究。
공예냉각수계통상용우반도체、미전자등행업중관건설비적간접냉각。공예냉각수계통분위개식계통화폐식계통，대공예냉각수계통조성、공작원리、계통특점급계통모식선택등내용진행료연구。
