光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
4期
822-828
,共7页
王伟%李东坚%李红光%王拯洲%曹世康
王偉%李東堅%李紅光%王拯洲%曹世康
왕위%리동견%리홍광%왕증주%조세강
衍射光栅%自适应调焦%非规则图像%图像分割%最优域值
衍射光柵%自適應調焦%非規則圖像%圖像分割%最優域值
연사광책%자괄응조초%비규칙도상%도상분할%최우역치
diffraction grating%adaptive focusing%irregular image%image segmentation%optimal threshold
分析了大口径衍射光栅的焦斑特点,研究了衍射光栅非规则图像自适应调焦过程中出现的各种问题及处理方案.提出了适用于此类光栅非规则焦斑自适应调焦的控制技术和数据处理方法,并设计了一套自适应调焦装置用于离线检测衍射光栅的取样距离和取样角度.提出的方法用最优域值法将图像分割为焦斑和背景两部分,基于数学形态学求取光斑面积、以及长短轴长及图像中心.通过分析图像中心位置与水平电机的对应关系,以及长短轴长与轴向电机的对应关系,设计出自适应调焦方法.最后,结合面积最小化原则使用黄金分割算法进行对焦迭代和形心搜索.测试结果得到取样距离标准差为412.5 μm,取样角度标准差为10.35",满足取样距离优于1 000 μm,取样角度优于30"的精度要求.该装置具有结构简单、可靠性高、抗干扰能力强等特点,已在大口径衍射光栅综合诊断平台上得到验证和应用.
分析瞭大口徑衍射光柵的焦斑特點,研究瞭衍射光柵非規則圖像自適應調焦過程中齣現的各種問題及處理方案.提齣瞭適用于此類光柵非規則焦斑自適應調焦的控製技術和數據處理方法,併設計瞭一套自適應調焦裝置用于離線檢測衍射光柵的取樣距離和取樣角度.提齣的方法用最優域值法將圖像分割為焦斑和揹景兩部分,基于數學形態學求取光斑麵積、以及長短軸長及圖像中心.通過分析圖像中心位置與水平電機的對應關繫,以及長短軸長與軸嚮電機的對應關繫,設計齣自適應調焦方法.最後,結閤麵積最小化原則使用黃金分割算法進行對焦迭代和形心搜索.測試結果得到取樣距離標準差為412.5 μm,取樣角度標準差為10.35",滿足取樣距離優于1 000 μm,取樣角度優于30"的精度要求.該裝置具有結構簡單、可靠性高、抗榦擾能力彊等特點,已在大口徑衍射光柵綜閤診斷平檯上得到驗證和應用.
분석료대구경연사광책적초반특점,연구료연사광책비규칙도상자괄응조초과정중출현적각충문제급처리방안.제출료괄용우차류광책비규칙초반자괄응조초적공제기술화수거처리방법,병설계료일투자괄응조초장치용우리선검측연사광책적취양거리화취양각도.제출적방법용최우역치법장도상분할위초반화배경량부분,기우수학형태학구취광반면적、이급장단축장급도상중심.통과분석도상중심위치여수평전궤적대응관계,이급장단축장여축향전궤적대응관계,설계출자괄응조초방법.최후,결합면적최소화원칙사용황금분할산법진행대초질대화형심수색.측시결과득도취양거리표준차위412.5 μm,취양각도표준차위10.35",만족취양거리우우1 000 μm,취양각도우우30"적정도요구.해장치구유결구간단、가고성고、항간우능력강등특점,이재대구경연사광책종합진단평태상득도험증화응용.
