光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
4期
956-962
,共7页
付敏%彭东林%鲁进%陈锡侯%郑方燕
付敏%彭東林%魯進%陳錫侯%鄭方燕
부민%팽동림%로진%진석후%정방연
光电式传感器%CCD位移传感器%时间参考%位移测量
光電式傳感器%CCD位移傳感器%時間參攷%位移測量
광전식전감기%CCD위이전감기%시간삼고%위이측량
photoelectric sensor%CCD displacement sensor%time reference%displacement measurement
为了将线阵CCD应用于实际工程的大尺寸位移测量,利用线阵CCD像元空间与输出时间的对应关系,提出了一种差动式测量的线阵CCD位移传感器测量系统.分析了线阵CCD位移测量存在的问题,结合线阵CCD中像元空间与驱动脉冲之间的对应关系,提出一种以时间为参考点的差动式测量方法.该方法用两个空间上对齐、时间上错开半个积分周期的线阵CCD检测透光挡板上等间距分布的透光光线的位置变化;通过计算两个CCD上输出光信号的时间差,用匀速扫描测量原理实现对空间位移的测量.用雷尼绍激光干涉仪对所研制的线阵CCD位移传感器进行了校准,结果显示:在有效测量范围(600.05 mm)内,经过修正后的测量误差可控制在±2μm以内,验证了用差动法实现线阵CCD大尺寸精密位移测量的可行性.
為瞭將線陣CCD應用于實際工程的大呎吋位移測量,利用線陣CCD像元空間與輸齣時間的對應關繫,提齣瞭一種差動式測量的線陣CCD位移傳感器測量繫統.分析瞭線陣CCD位移測量存在的問題,結閤線陣CCD中像元空間與驅動脈遲之間的對應關繫,提齣一種以時間為參攷點的差動式測量方法.該方法用兩箇空間上對齊、時間上錯開半箇積分週期的線陣CCD檢測透光擋闆上等間距分佈的透光光線的位置變化;通過計算兩箇CCD上輸齣光信號的時間差,用勻速掃描測量原理實現對空間位移的測量.用雷尼紹激光榦涉儀對所研製的線陣CCD位移傳感器進行瞭校準,結果顯示:在有效測量範圍(600.05 mm)內,經過脩正後的測量誤差可控製在±2μm以內,驗證瞭用差動法實現線陣CCD大呎吋精密位移測量的可行性.
위료장선진CCD응용우실제공정적대척촌위이측량,이용선진CCD상원공간여수출시간적대응관계,제출료일충차동식측량적선진CCD위이전감기측량계통.분석료선진CCD위이측량존재적문제,결합선진CCD중상원공간여구동맥충지간적대응관계,제출일충이시간위삼고점적차동식측량방법.해방법용량개공간상대제、시간상착개반개적분주기적선진CCD검측투광당판상등간거분포적투광광선적위치변화;통과계산량개CCD상수출광신호적시간차,용균속소묘측량원리실현대공간위이적측량.용뢰니소격광간섭의대소연제적선진CCD위이전감기진행료교준,결과현시:재유효측량범위(600.05 mm)내,경과수정후적측량오차가공제재±2μm이내,험증료용차동법실현선진CCD대척촌정밀위이측량적가행성.
