光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
4期
850-855
,共6页
王洋%颜昌翔%胡春晖%汪逸群%顾志远%张达%张新洁
王洋%顏昌翔%鬍春暉%汪逸群%顧誌遠%張達%張新潔
왕양%안창상%호춘휘%왕일군%고지원%장체%장신길
光谱成像仪%扫描镜%非接触测量%角度测量%多项式拟合%误差分析
光譜成像儀%掃描鏡%非接觸測量%角度測量%多項式擬閤%誤差分析
광보성상의%소묘경%비접촉측량%각도측량%다항식의합%오차분석
spectroscopic imager%scanning mirror%non-contact measurement%angle measurement%polynomial fitting%error analysis
为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统.介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射镜增大测角范围.为了降低对加工及装调精度的要求,对系统进行了误差分析,给出了采用多项式拟合法进行角度测量的理论依据.讨论了影响系统检测精度的一系列误差源,计算了系统测量的总误差.最后进行了相关的测量实验.实验结果表明:系统的检测系统分辨率为2.5",测角范围为11°,测角精度可达3",可以满足扫描反射镜对角度测量系统提出的高精度、非接触、大测角范围的要求.
為瞭提高掃描反射鏡轉角檢測繫統的測角範圍,建立瞭基于一字線激光器和線陣CCD的高精度非接觸式掃描鏡角度檢測繫統.介紹瞭檢測繫統的結構和工作原理,該繫統根據激光光斑在CCD上的位置計算掃描反射鏡的轉角,併利用特殊設計的陣列反射鏡增大測角範圍.為瞭降低對加工及裝調精度的要求,對繫統進行瞭誤差分析,給齣瞭採用多項式擬閤法進行角度測量的理論依據.討論瞭影響繫統檢測精度的一繫列誤差源,計算瞭繫統測量的總誤差.最後進行瞭相關的測量實驗.實驗結果錶明:繫統的檢測繫統分辨率為2.5",測角範圍為11°,測角精度可達3",可以滿足掃描反射鏡對角度測量繫統提齣的高精度、非接觸、大測角範圍的要求.
위료제고소묘반사경전각검측계통적측각범위,건립료기우일자선격광기화선진CCD적고정도비접촉식소묘경각도검측계통.개소료검측계통적결구화공작원리,해계통근거격광광반재CCD상적위치계산소묘반사경적전각,병이용특수설계적진렬반사경증대측각범위.위료강저대가공급장조정도적요구,대계통진행료오차분석,급출료채용다항식의합법진행각도측량적이론의거.토론료영향계통검측정도적일계렬오차원,계산료계통측량적총오차.최후진행료상관적측량실험.실험결과표명:계통적검측계통분변솔위2.5",측각범위위11°,측각정도가체3",가이만족소묘반사경대각도측량계통제출적고정도、비접촉、대측각범위적요구.
