CAJ | 학술논문

采用射频反应磁控溅射方法，在Si（100）基片和石英基片上制备了具有高c轴择优取向的Al掺杂ZnO薄膜。利用X射线衍射、电子探针、透射光谱、光致荧光光谱等表征方法，研究了Al掺杂ZnO薄膜的成分、结构和光学性能。结果表明，薄膜具有六方纤锌矿结构，并具有较好的结晶特征。在可见光及红外光范围内，薄膜具有较好的透明度；利用反转调试法拟合了透射光谱，得到了薄膜的厚度值。通过光致荧光光谱的测量探讨了Al元素的掺入对ZnO的带隙宽度的影响，发现在相同温度下，Al掺杂量较高的样品，其带边发光峰位明显向高能端偏移。
채용사빈반응자공천사방법，재Si（100）기편화석영기편상제비료구유고c축택우취향적Al참잡ZnO박막。이용X사선연사、전자탐침、투사광보、광치형광광보등표정방법，연구료Al참잡ZnO박막적성분、결구화광학성능。결과표명，박막구유륙방섬자광결구，병구유교호적결정특정。재가견광급홍외광범위내，박막구유교호적투명도；이용반전조시법의합료투사광보，득도료박막적후도치。통과광치형광광보적측량탐토료Al원소적참입대ZnO적대극관도적영향，발현재상동온도하，Al참잡량교고적양품，기대변발광봉위명현향고능단편이。