CAJ | 학술논문

本文介绍了目前三氯氢硅合成工艺中工业硅粉粒度、氯化氢气体含水量及纯度、流化床生产工艺参数对合成系统的影响。本文通过生产实践发现：将硅粉的粒度控制在125~425μm之间，氯化氢合成工艺中通过工艺控制使氢气过量，合成的氯化氢气体纯度控制在90%左右，含水量控制在0.05%以下，合成炉内部温度控制在320℃左右，进出口压差在15Kpa左右，可大大提高三氯氢硅合成反应的转化率和降低生产周期。
본문개소료목전삼록경규합성공예중공업규분립도、록화경기체함수량급순도、류화상생산공예삼수대합성계통적영향。본문통과생산실천발현：장규분적립도공제재125~425μm지간，록화경합성공예중통과공예공제사경기과량，합성적록화경기체순도공제재90%좌우，함수량공제재0.05%이하，합성로내부온도공제재320℃좌우，진출구압차재15Kpa좌우，가대대제고삼록경규합성반응적전화솔화강저생산주기。