真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2014年
2期
98-101
,共4页
杨长青%李得天%冯焱%成永军%赵澜%魏万印
楊長青%李得天%馮焱%成永軍%趙瀾%魏萬印
양장청%리득천%풍염%성영군%조란%위만인
极小漏率%静态膨胀法%不确定度评定
極小漏率%靜態膨脹法%不確定度評定
겁소루솔%정태팽창법%불학정도평정
extremely low leak rate%static expansion technique%uncertainty analysis
采用静态膨胀法校准10-10 Pa· m3/s量级的真空标准漏孔，通过对校准结果的不确定度评定，发现被校漏率产生的离子流上升率是不确定度的主要来源。与高纯气体三级膨胀的测量不确定度分量相比较，采用混合气体二级膨胀的校准方式，能够减小膨胀过程对校准结果的影响，在简化了校准过程的同时，也提高了校准效率。
採用靜態膨脹法校準10-10 Pa· m3/s量級的真空標準漏孔，通過對校準結果的不確定度評定，髮現被校漏率產生的離子流上升率是不確定度的主要來源。與高純氣體三級膨脹的測量不確定度分量相比較，採用混閤氣體二級膨脹的校準方式，能夠減小膨脹過程對校準結果的影響，在簡化瞭校準過程的同時，也提高瞭校準效率。
채용정태팽창법교준10-10 Pa· m3/s량급적진공표준루공，통과대교준결과적불학정도평정，발현피교루솔산생적리자류상승솔시불학정도적주요래원。여고순기체삼급팽창적측량불학정도분량상비교，채용혼합기체이급팽창적교준방식，능구감소팽창과정대교준결과적영향，재간화료교준과정적동시，야제고료교준효솔。
An extremely low leak rate calibration method based on static expansion technique has been used to calibrate a vacuum leak of 10-10 Pa· m3/s.It was found the measurement uncertainty mainly comes from the rise rate of ion current a-bout the leakage.Compared with the uncertainty components of three stages expansion method with high purity gases, two stages expansion method with gas mixture can ameliorate the calibration results by avoiding complex expansion process, which simplified the calibration process and improved the calibration efficiency also.
