哈尔滨师范大学自然科学学报
哈爾濱師範大學自然科學學報
합이빈사범대학자연과학학보
NATURAL SCIENCES JOURNAL OF HARBIN NORMAL UNIVERSITY
2014年
1期
26-29
,共4页
脉冲激光辐照%半导体材料%单光子吸收%自由载流子吸收
脈遲激光輻照%半導體材料%單光子吸收%自由載流子吸收
맥충격광복조%반도체재료%단광자흡수%자유재류자흡수
构建了高斯脉冲激光辐照半导体材料的二维轴对称模型及热源模型,通过求解热传导方程计算了材料表面沿径向和纵向及材料表面中心的温度场分布.采用多物理场直接耦合分析软件COMSOL Multiphysics分析了1064 nm纳秒级脉冲激光辐照半导体材料TiO2的温度场分布.分析单光子吸收与自由载流子吸收对材料温升的影响.结果表明,对于波长为1064 nm的脉冲激光辐照TiO2,当激光的峰值功率密度达到108 W/cm2时,自由载流子吸收的作用已不可忽视.计算温度场时,应同时考虑两种吸收.
構建瞭高斯脈遲激光輻照半導體材料的二維軸對稱模型及熱源模型,通過求解熱傳導方程計算瞭材料錶麵沿徑嚮和縱嚮及材料錶麵中心的溫度場分佈.採用多物理場直接耦閤分析軟件COMSOL Multiphysics分析瞭1064 nm納秒級脈遲激光輻照半導體材料TiO2的溫度場分佈.分析單光子吸收與自由載流子吸收對材料溫升的影響.結果錶明,對于波長為1064 nm的脈遲激光輻照TiO2,噹激光的峰值功率密度達到108 W/cm2時,自由載流子吸收的作用已不可忽視.計算溫度場時,應同時攷慮兩種吸收.
구건료고사맥충격광복조반도체재료적이유축대칭모형급열원모형,통과구해열전도방정계산료재료표면연경향화종향급재료표면중심적온도장분포.채용다물리장직접우합분석연건COMSOL Multiphysics분석료1064 nm납초급맥충격광복조반도체재료TiO2적온도장분포.분석단광자흡수여자유재류자흡수대재료온승적영향.결과표명,대우파장위1064 nm적맥충격광복조TiO2,당격광적봉치공솔밀도체도108 W/cm2시,자유재류자흡수적작용이불가홀시.계산온도장시,응동시고필량충흡수.
