口腔颌面修复学杂志
口腔頜麵脩複學雜誌
구강합면수복학잡지
CHINESE JOURNAL OF PROSTHODONTICS MARCH
2014年
2期
96-100
,共5页
纯钛%类金刚石%表面改性%压痕实验
純鈦%類金剛石%錶麵改性%壓痕實驗
순태%류금강석%표면개성%압흔실험
pure titanium%diamond like carbon%surface modification%indentation experiments
目的:采用脉冲电弧离子镀膜法于不同氮含量条件下在纯钛表面制备类金刚石膜(DLC)以观察对薄膜内应力和附着力的影响.方法:在四种氮含量条件下纯钛表面制备类金刚石薄膜,利用扫描电镜观察分析不同氮含量下薄膜的表面形貌及能谱分析薄膜成分,显微压痕仪对比分析不同氮含量对薄膜厚度和硬度的影响.结果:薄膜中氮含量与氮气甲烷流量比成正比,当氮含量达到9.6％时,薄膜性能最稳定.氮掺入DLC薄膜后,改变了薄膜的微观结构,产生几十纳米量级的颗粒.SEM、XPS分析表明纳米颗粒是富氮的非晶氮化碳CNx结构.DLC/CNx致密的纳米复合结构,减小薄膜的内应力,提高薄膜对衬底的附着力.结论:氮含量的增加会形成DLC/CNx致密的纳米复合结构,减小薄膜的内应力,提高薄膜对衬底的附着力.
目的:採用脈遲電弧離子鍍膜法于不同氮含量條件下在純鈦錶麵製備類金剛石膜(DLC)以觀察對薄膜內應力和附著力的影響.方法:在四種氮含量條件下純鈦錶麵製備類金剛石薄膜,利用掃描電鏡觀察分析不同氮含量下薄膜的錶麵形貌及能譜分析薄膜成分,顯微壓痕儀對比分析不同氮含量對薄膜厚度和硬度的影響.結果:薄膜中氮含量與氮氣甲烷流量比成正比,噹氮含量達到9.6％時,薄膜性能最穩定.氮摻入DLC薄膜後,改變瞭薄膜的微觀結構,產生幾十納米量級的顆粒.SEM、XPS分析錶明納米顆粒是富氮的非晶氮化碳CNx結構.DLC/CNx緻密的納米複閤結構,減小薄膜的內應力,提高薄膜對襯底的附著力.結論:氮含量的增加會形成DLC/CNx緻密的納米複閤結構,減小薄膜的內應力,提高薄膜對襯底的附著力.
목적:채용맥충전호리자도막법우불동담함량조건하재순태표면제비류금강석막(DLC)이관찰대박막내응력화부착력적영향.방법:재사충담함량조건하순태표면제비류금강석박막,이용소묘전경관찰분석불동담함량하박막적표면형모급능보분석박막성분,현미압흔의대비분석불동담함량대박막후도화경도적영향.결과:박막중담함량여담기갑완류량비성정비,당담함량체도9.6％시,박막성능최은정.담참입DLC박막후,개변료박막적미관결구,산생궤십납미량급적과립.SEM、XPS분석표명납미과립시부담적비정담화탄CNx결구.DLC/CNx치밀적납미복합결구,감소박막적내응력,제고박막대츤저적부착력.결론:담함량적증가회형성DLC/CNx치밀적납미복합결구,감소박막적내응력,제고박막대츤저적부착력.
