科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2014年
10期
115-118
,共4页
Ag雕塑薄膜%动力学蒙特卡罗模拟%阴影效应
Ag彫塑薄膜%動力學矇特卡囉模擬%陰影效應
Ag조소박막%동역학몽특잡라모의%음영효응
Ag sculptured thin films%kinetic Monte-Carlo method%shadowing effect
通过引入阴影效应、层内扩散和层间扩散势能,建立了倾斜沉积条件下金属雕塑薄膜生长的三维动力学蒙特卡罗模型.利用该模型模拟了Ag在倾斜沉积实验条件下的生长过程.模拟结果表明,由于阴影效应的加强,薄膜表面随着沉积角的增加明显变得粗糙并长成纳米柱结构.通过改变不同的沉积角,研究了薄膜表面形貌的变化,并统计分析了表明粗糙度随薄膜高度的变化关系,论证了雕塑薄膜生长过程中阴影效应与扩散效应的影响机制.
通過引入陰影效應、層內擴散和層間擴散勢能,建立瞭傾斜沉積條件下金屬彫塑薄膜生長的三維動力學矇特卡囉模型.利用該模型模擬瞭Ag在傾斜沉積實驗條件下的生長過程.模擬結果錶明,由于陰影效應的加彊,薄膜錶麵隨著沉積角的增加明顯變得粗糙併長成納米柱結構.通過改變不同的沉積角,研究瞭薄膜錶麵形貌的變化,併統計分析瞭錶明粗糙度隨薄膜高度的變化關繫,論證瞭彫塑薄膜生長過程中陰影效應與擴散效應的影響機製.
통과인입음영효응、층내확산화층간확산세능,건립료경사침적조건하금속조소박막생장적삼유동역학몽특잡라모형.이용해모형모의료Ag재경사침적실험조건하적생장과정.모의결과표명,유우음영효응적가강,박막표면수착침적각적증가명현변득조조병장성납미주결구.통과개변불동적침적각,연구료박막표면형모적변화,병통계분석료표명조조도수박막고도적변화관계,론증료조소박막생장과정중음영효응여확산효응적영향궤제.
