CAJ | 학술논문

芯片倒装键合工艺中需要完成的拾取、转移和贴装等过程，对芯片对接转移的对位精度有较高要求，常规对心操作和检测方案并不满足自动化、精密测量工况。提出一种基于单视觉系统的对心检测方案和装置，该方案通过双视角采图和偏差反求的方式，实现芯片对接中两目标对心偏差的求取和补偿。通过RFID标签倒装键合装备实验验证，该对心检测方案在不影响被测对象运动和布局的情况下切实提高了芯片对接转移的对心精度。
심편도장건합공예중수요완성적습취、전이화첩장등과정，대심편대접전이적대위정도유교고요구，상규대심조작화검측방안병불만족자동화、정밀측량공황。제출일충기우단시각계통적대심검측방안화장치，해방안통과쌍시각채도화편차반구적방식，실현심편대접중량목표대심편차적구취화보상。통과RFID표첨도장건합장비실험험증，해대심검측방안재불영향피측대상운동화포국적정황하절실제고료심편대접전이적대심정도。