压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2014年
2期
278-281
,共4页
谈志杰%沈娇艳%程新利%王友清%潘涛
談誌傑%瀋嬌豔%程新利%王友清%潘濤
담지걸%침교염%정신리%왕우청%반도
微机电系统(MEMS)%制作工艺%螺线管微电感%有限元模拟%COMSOL Multiphysics
微機電繫統(MEMS)%製作工藝%螺線管微電感%有限元模擬%COMSOL Multiphysics
미궤전계통(MEMS)%제작공예%라선관미전감%유한원모의%COMSOL Multiphysics
micro-electro mechanical systems (MEMS)%fabrication process%solenoid-type micro-inductor%finite element analysis%COMSOL Multiphysics
采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统(MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感.采用COMSOL Multiphysics有限元软件,计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系.模拟结果表明,在1 kHz～1 MHz的频率范围内,其等效电感值基本不变,约为27 nH,电阻值约为9 Ω,射频模拟结果表明其共振频率为0.45 GHz.
採用光刻、榦法刻蝕、電鍍等微機電繫統(MEMS)工藝設計瞭一種新型的帶磁芯的螺線管微電感.採用COMSOL Multiphysics有限元軟件,計算瞭不同頻率交流載荷下的等效電阻、等效電感和阻抗隨頻率變化的關繫.模擬結果錶明,在1 kHz～1 MHz的頻率範圍內,其等效電感值基本不變,約為27 nH,電阻值約為9 Ω,射頻模擬結果錶明其共振頻率為0.45 GHz.
채용광각、간법각식、전도등미궤전계통(MEMS)공예설계료일충신형적대자심적라선관미전감.채용COMSOL Multiphysics유한원연건,계산료불동빈솔교류재하하적등효전조、등효전감화조항수빈솔변화적관계.모의결과표명,재1 kHz～1 MHz적빈솔범위내,기등효전감치기본불변,약위27 nH,전조치약위9 Ω,사빈모의결과표명기공진빈솔위0.45 GHz.
