压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2014年
2期
202-204
,共3页
乔亚%俞红兵%齐博蕾%路远%凌永顺
喬亞%俞紅兵%齊博蕾%路遠%凌永順
교아%유홍병%제박뢰%로원%릉영순
直流磁控溅射%二氧化钒(VO2)薄膜%退火
直流磁控濺射%二氧化釩(VO2)薄膜%退火
직류자공천사%이양화범(VO2)박막%퇴화
DC magnetron sputtering%vanadium dioxide thin film%annealing
利用MS500-B超高真空磁控溅射镀膜机,分别采用氧化法和还原法在普通玻璃基底上制备了二氧化钒(VO2)相变薄膜;并在20～80℃内往复变化时,利用XMT-100数字精密温度计和SX1934数字四探针测试仪测量两类样品的电阻-温度特性曲线.结果表明,两类样品均具有热敏相变特性;氧化法制备薄膜的电阻为9.96～0.06 kΩ,相变温度约为30℃;还原法制备薄膜的电阻为80.3～7.4 kΩ,相变温度约为52℃.
利用MS500-B超高真空磁控濺射鍍膜機,分彆採用氧化法和還原法在普通玻璃基底上製備瞭二氧化釩(VO2)相變薄膜;併在20～80℃內往複變化時,利用XMT-100數字精密溫度計和SX1934數字四探針測試儀測量兩類樣品的電阻-溫度特性麯線.結果錶明,兩類樣品均具有熱敏相變特性;氧化法製備薄膜的電阻為9.96～0.06 kΩ,相變溫度約為30℃;還原法製備薄膜的電阻為80.3～7.4 kΩ,相變溫度約為52℃.
이용MS500-B초고진공자공천사도막궤,분별채용양화법화환원법재보통파리기저상제비료이양화범(VO2)상변박막;병재20～80℃내왕복변화시,이용XMT-100수자정밀온도계화SX1934수자사탐침측시의측량량류양품적전조-온도특성곡선.결과표명,량류양품균구유열민상변특성;양화법제비박막적전조위9.96～0.06 kΩ,상변온도약위30℃;환원법제비박막적전조위80.3～7.4 kΩ,상변온도약위52℃.
