压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2014年
2期
159-161
,共3页
林丙涛%李海%蒋昭兴%董宏奎%赵建华%张巧云
林丙濤%李海%蔣昭興%董宏奎%趙建華%張巧雲
림병도%리해%장소흥%동굉규%조건화%장교운
石英%压力传感器%谐振%线性度%键合
石英%壓力傳感器%諧振%線性度%鍵閤
석영%압력전감기%해진%선성도%건합
quartz%pressure sensor%resonance%linearity%bonding
设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成.仿真分析了压力100 kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09％.采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构,并经镀膜及键合等后工序制作出了传感器芯片,其性能实测值与仿真结果基本吻合,验证了结构及工艺方案的可行性.
設計瞭一種結構簡單的微型石英諧振式壓力傳感器,該傳感器芯片由力學轉換元件、諧振敏感元件和支撐元件3部分構成.倣真分析瞭壓力100 kPa內傳感器輸齣頻率與輸入壓力的關繫,經線性擬閤後得齣其最大相對非線性誤差為0.09％.採用石英深槽濕法腐蝕的方法加工齣瞭芯片3箇元件結構,併經鍍膜及鍵閤等後工序製作齣瞭傳感器芯片,其性能實測值與倣真結果基本吻閤,驗證瞭結構及工藝方案的可行性.
설계료일충결구간단적미형석영해진식압력전감기,해전감기심편유역학전환원건、해진민감원건화지탱원건3부분구성.방진분석료압력100 kPa내전감기수출빈솔여수입압력적관계,경선성의합후득출기최대상대비선성오차위0.09％.채용석영심조습법부식적방법가공출료심편3개원건결구,병경도막급건합등후공서제작출료전감기심편,기성능실측치여방진결과기본문합,험증료결구급공예방안적가행성.
