核电子学与探测技术
覈電子學與探測技術
핵전자학여탐측기술
NUCLEAR ELECTRONICS & DETECTION TECHNOLOGY
2014年
2期
156-159
,共4页
郭猜%郑涛%刘坤%杨江燕%田继挺%聂锐%马宏骥%丁富荣
郭猜%鄭濤%劉坤%楊江燕%田繼挺%聶銳%馬宏驥%丁富榮
곽시%정도%류곤%양강연%전계정%섭예%마굉기%정부영
卢瑟福背散射%二次离子质谱%类金刚石薄膜
盧瑟福揹散射%二次離子質譜%類金剛石薄膜
로슬복배산사%이차리자질보%류금강석박막
RBS%SIMS%DLC
卢瑟福背散射分析是测定薄膜或镀层成分和厚度的成熟手段，但在分析含多种微量元素成分的厚样品时，精确测定样品中多种元素的分布是比较困难的。二次离子质谱对样品表面成分有较高的质量分辨能力，可以作为对卢瑟福背散射分析的补充。在北京大学2×1．7 MV串列静电加速器终端上，结合使用这两种分析方法，分析了类金刚石厚样品中的金属元素杂质。
盧瑟福揹散射分析是測定薄膜或鍍層成分和厚度的成熟手段，但在分析含多種微量元素成分的厚樣品時，精確測定樣品中多種元素的分佈是比較睏難的。二次離子質譜對樣品錶麵成分有較高的質量分辨能力，可以作為對盧瑟福揹散射分析的補充。在北京大學2×1．7 MV串列靜電加速器終耑上，結閤使用這兩種分析方法，分析瞭類金剛石厚樣品中的金屬元素雜質。
로슬복배산사분석시측정박막혹도층성분화후도적성숙수단，단재분석함다충미량원소성분적후양품시，정학측정양품중다충원소적분포시비교곤난적。이차리자질보대양품표면성분유교고적질량분변능력，가이작위대로슬복배산사분석적보충。재북경대학2×1．7 MV천렬정전가속기종단상，결합사용저량충분석방법，분석료류금강석후양품중적금속원소잡질。
Rutherford Back Scattering spectroscopy ( RBS) can be used to analyze the distribution and content of heavy elements in foils .Moreover , for thick samples , to identify the elements and determine the distribution is quite difficult.Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS) with a high resolution can be a supplement to the RBS analysis.In the lab of 2 1.7MV tandem accelerator in Peking University , these two analysis methods are com-bined to analyze trace elements in thick diamond like carbon (DLC) material.
