物理学报
物理學報
물이학보
2008年
7期
4316-4321
,共6页
陈为兰%顾培夫%王颖%章岳光%刘旭
陳為蘭%顧培伕%王穎%章嶽光%劉旭
진위란%고배부%왕영%장악광%류욱
多层介质薄膜%红外%热应力%分层破裂
多層介質薄膜%紅外%熱應力%分層破裂
다층개질박막%홍외%열응력%분층파렬
由于红外薄膜材料和基板热膨胀系数显著不同,所以在高温基板上镀膜后降温将产生热应力,进而引起边界分层破裂现象.影响薄膜器件的牢固性.对薄膜厚度、杨氏模量和热膨胀系数对薄膜分层破裂的影响进行了研究,同时分析了薄膜设计对减小分层破裂的作用.这对减小红外薄膜系统因热应力引起的分层破裂现象具有实际应用价值.
由于紅外薄膜材料和基闆熱膨脹繫數顯著不同,所以在高溫基闆上鍍膜後降溫將產生熱應力,進而引起邊界分層破裂現象.影響薄膜器件的牢固性.對薄膜厚度、楊氏模量和熱膨脹繫數對薄膜分層破裂的影響進行瞭研究,同時分析瞭薄膜設計對減小分層破裂的作用.這對減小紅外薄膜繫統因熱應力引起的分層破裂現象具有實際應用價值.
유우홍외박막재료화기판열팽창계수현저불동,소이재고온기판상도막후강온장산생열응력,진이인기변계분층파렬현상.영향박막기건적뢰고성.대박막후도、양씨모량화열팽창계수대박막분층파렬적영향진행료연구,동시분석료박막설계대감소분층파렬적작용.저대감소홍외박막계통인열응력인기적분층파렬현상구유실제응용개치.
