物理学报
物理學報
물이학보
2008年
7期
4119-4124
,共6页
马格林%张玉明%张义门%马仲发
馬格林%張玉明%張義門%馬仲髮
마격림%장옥명%장의문%마중발
SiC%化学态%XPS%FTIR
SiC%化學態%XPS%FTIR
SiC%화학태%XPS%FTIR
用高分辨X射线光电子能谱仪(XPS)和傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪研究了SiC外延层表面的组分结构.XPS宽扫描谱,红外掠反射吸收谱及红外镜面反射谱的解析结果说明SiC外延层表面是由Si-O-Si和Si-CH2-Si聚合体构成的非晶SiCxOy:H.SiC外延层表面的化学态结构为Si(CH2)4,SiO(CH2)3,SiO2(CH3)2,SiO3(CH3),Si-Si,游离H2O,缔合OH,Si-OH,O和O2.根据化学态结构和元素电负性确定了化学态的各原子芯电子束缚能顺序,并与XPS窄扫描谱拟合结果相对比,建立了化学态与其束缚能的对应关系,进而用Si(CH2)4的实际C 1s束缚能值进行校正,确定了各化学态的束缚能.结果发现,除了SiCxOy(x=1,2,3,4,x+y=4)的Si 2p束缚能彼此不同外,其X 1s和O 1s彼此也不相同,其中SiO2(CH3)2和SiO3(CH3)的C 1s束缚能与CHm和C-O中C 1s的相近,对此从化学态结构,元素电负性和邻位效应进行了解释.
用高分辨X射線光電子能譜儀(XPS)和傅裏葉變換紅外(FTIR)光譜儀研究瞭SiC外延層錶麵的組分結構.XPS寬掃描譜,紅外掠反射吸收譜及紅外鏡麵反射譜的解析結果說明SiC外延層錶麵是由Si-O-Si和Si-CH2-Si聚閤體構成的非晶SiCxOy:H.SiC外延層錶麵的化學態結構為Si(CH2)4,SiO(CH2)3,SiO2(CH3)2,SiO3(CH3),Si-Si,遊離H2O,締閤OH,Si-OH,O和O2.根據化學態結構和元素電負性確定瞭化學態的各原子芯電子束縳能順序,併與XPS窄掃描譜擬閤結果相對比,建立瞭化學態與其束縳能的對應關繫,進而用Si(CH2)4的實際C 1s束縳能值進行校正,確定瞭各化學態的束縳能.結果髮現,除瞭SiCxOy(x=1,2,3,4,x+y=4)的Si 2p束縳能彼此不同外,其X 1s和O 1s彼此也不相同,其中SiO2(CH3)2和SiO3(CH3)的C 1s束縳能與CHm和C-O中C 1s的相近,對此從化學態結構,元素電負性和鄰位效應進行瞭解釋.
용고분변X사선광전자능보의(XPS)화부리협변환홍외(FTIR)광보의연구료SiC외연층표면적조분결구.XPS관소묘보,홍외략반사흡수보급홍외경면반사보적해석결과설명SiC외연층표면시유Si-O-Si화Si-CH2-Si취합체구성적비정SiCxOy:H.SiC외연층표면적화학태결구위Si(CH2)4,SiO(CH2)3,SiO2(CH3)2,SiO3(CH3),Si-Si,유리H2O,체합OH,Si-OH,O화O2.근거화학태결구화원소전부성학정료화학태적각원자심전자속박능순서,병여XPS착소묘보의합결과상대비,건립료화학태여기속박능적대응관계,진이용Si(CH2)4적실제C 1s속박능치진행교정,학정료각화학태적속박능.결과발현,제료SiCxOy(x=1,2,3,4,x+y=4)적Si 2p속박능피차불동외,기X 1s화O 1s피차야불상동,기중SiO2(CH3)2화SiO3(CH3)적C 1s속박능여CHm화C-O중C 1s적상근,대차종화학태결구,원소전부성화린위효응진행료해석.
