微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究
미공기건적MEMS결구방진여납미재료응용연구
  • 万方数据
    新技术新工艺 신기술신공예
    NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
    2008年 7期 86-88 ,共3页

    葛羽屏%纪江明%顾晓清%王伟明%李成诗%郭方敏

    갈우병%기강명%고효청%왕위명%리성시%곽방민

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    对新型微纳流控结构进行了分析,对相关材料进行了改进设想,对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究,并给出了实体照片反映其生长机理;从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析,并给出了相关模拟结果.
    대신형미납류공결구진행료분석,대상관재료진행료개진설상,대인입납미다공재료가이성능개선진행료기출성연구,병급출료실체조편반영기생장궤리;종공능리해각도대유한원분석연건지분석원리、분석진정、운행궤리진행료분석,병급출료상관모의결과.
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