CAJ | 학술논문

薄膜样品相比半导体材料,电阻更小且材质脆弱,现有的四探针电阻率测量设备无法满足其测量要求.双电测组合法基于薄层原理,不需要尺寸修正,更适合应用于薄膜样品,且能适应小尺寸样品的测量.但是双电测组合法需要在测量过程中切换电路连接,且修正函数计算繁复.虚拟仪器技术将测量设备和计算机结合,编程完成测量过程和数据处理过程.本文介绍应用虚拟仪器技术实现双电测组合法自动化薄膜电阻率测量系统的过程,结合测量结果说明系统性能以及环境参数对测量结果的影响.
박막양품상비반도체재료,전조경소차재질취약,현유적사탐침전조솔측량설비무법만족기측량요구.쌍전측조합법기우박층원리,불수요척촌수정,경괄합응용우박막양품,차능괄응소척촌양품적측량.단시쌍전측조합법수요재측량과정중절환전로련접,차수정함수계산번복.허의의기기술장측량설비화계산궤결합,편정완성측량과정화수거처리과정.본문개소응용허의의기기술실현쌍전측조합법자동화박막전조솔측량계통적과정,결합측량결과설명계통성능이급배경삼수대측량결과적영향.