传统卤化银感光材料的生产工艺与集成电路制造工艺比较研究
전통서화은감광재료적생산공예여집성전로제조공예비교연구
A Comparative Study on the Production Technologies of Traditional Silver Halides Photomaterials and Integrated Circuits
  • 万方数据
    影像技术 영상기술
    IMAGE TECHNOLOGY
    2008年 4期 14-16 ,共3页

    马望京%赵艳艳%段培成%李智

    마망경%조염염%단배성%리지

    光刻%卤化银%集成电路 光刻%滷化銀%集成電路
    광각%서화은%집성전로
    本文通过对传统卤化银感光材料的生产工艺中显影加工工序和集成电路制造工艺中光刻工序的比较研究,表明二者在工艺上具有某些相似点,相互之间可以借鉴.
    본문통과대전통서화은감광재료적생산공예중현영가공공서화집성전로제조공예중광각공서적비교연구,표명이자재공예상구유모사상사점,상호지간가이차감.
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