中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2008年
14期
1669-1673
,共5页
赵江铭%杨杰伟%孙俊杰%吴晓铃%陈晓阳
趙江銘%楊傑偉%孫俊傑%吳曉鈴%陳曉暘
조강명%양걸위%손준걸%오효령%진효양
微型机电系统%静电硅微多折叠梁谐振器%横向振动模型%试验研究%谐振频率
微型機電繫統%靜電硅微多摺疊樑諧振器%橫嚮振動模型%試驗研究%諧振頻率
미형궤전계통%정전규미다절첩량해진기%횡향진동모형%시험연구%해진빈솔
建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式.用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析.结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性.采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换.
建立瞭靜電硅微多摺疊樑諧振器的橫嚮振動模型,得到瞭多摺疊樑的變形方程和該類諧振器諧振頻率的解析錶達式.用標準體硅微工藝設計加工齣兩類共4種該類諧振器,通過試驗測定其諧振頻率,併用ANSYS軟件進行瞭模態分析.結果錶明,該類諧振器諧振頻率的理論計算值和ANSYS模擬值與實測值間的相對誤差均小于2%,驗證瞭該理論模型的正確性.採用多摺疊樑諧振器可以實現低頻下大振幅的電能-微機械能的轉換.
건립료정전규미다절첩량해진기적횡향진동모형,득도료다절첩량적변형방정화해류해진기해진빈솔적해석표체식.용표준체규미공예설계가공출량류공4충해류해진기,통과시험측정기해진빈솔,병용ANSYS연건진행료모태분석.결과표명,해류해진기해진빈솔적이론계산치화ANSYS모의치여실측치간적상대오차균소우2%,험증료해이론모형적정학성.채용다절첩량해진기가이실현저빈하대진폭적전능-미궤계능적전환.
