CAJ | 학술논문

采用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机玻璃表面沉积一层氧化硅薄膜,以提高其耐磨性能.分别使用红外光谱、金相显微镜和微型磨损试验机对所沉积的氧化硅薄膜进行了结构和表面性能分析.测试了改性前后试样的摩擦磨损行为.FTIR测试结果表明,所沉积薄膜出现了明显的Si-O-Si吸收峰,说明沉积物为氧化硅结构.磨损试验显示氧化硅涂层可以显著地提高有机玻璃的耐磨性能, 但受等离子体放电参数的影响.最后,对参数进行了优化并得到了最佳的沉积工艺.在放电功率为200 W,氧气和单体的比例为3∶1,工作气压40 Pa,沉积时间30 min的条件下,沉积的氧化硅薄膜具有最佳的耐摩擦磨损性能.
채용사빈등리자체화학기상침적적방법재유궤파리표면침적일층양화규박막,이제고기내마성능.분별사용홍외광보、금상현미경화미형마손시험궤대소침적적양화규박막진행료결구화표면성능분석.측시료개성전후시양적마찰마손행위.FTIR측시결과표명,소침적박막출현료명현적Si-O-Si흡수봉,설명침적물위양화규결구.마손시험현시양화규도층가이현저지제고유궤파리적내마성능, 단수등리자체방전삼수적영향.최후,대삼수진행료우화병득도료최가적침적공예.재방전공솔위200 W,양기화단체적비례위3∶1,공작기압40 Pa,침적시간30 min적조건하,침적적양화규박막구유최가적내마찰마손성능.