真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
4期
346-350
,共5页
赵栋才%任妮%马占吉%肖更竭%武生虎
趙棟纔%任妮%馬佔吉%肖更竭%武生虎
조동재%임니%마점길%초경갈%무생호
类金刚石膜%硬度%摩擦系数%附着力
類金剛石膜%硬度%摩抆繫數%附著力
류금강석막%경도%마찰계수%부착력
为了解决类金刚石(DLC)膜在金属基底上附着力低的困难,本研究分别利用了两种厚度不同的Ti/TiCx/DLC过渡层和一种Ti/TiNy/TiNyCx/DLC过渡层在7种金属基底上(W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti)制备了DLC薄膜.利用Si(100)基底镀膜前后的形变,计算的薄膜应力高达3.9 GPa,这种应力在过渡层中部分释放而制备了较厚(0.9 μm)DLC膜.薄膜的附着力通过拉拔试验发现,选择合适的过渡层,薄膜的附着力有很大的提高,拉拔中只有胶被拉开.纳米硬度计测试结果表明,薄膜的硬度都在5000 Hv左右,不随基底材料改变.往复式摩擦试验结果显示,稳定后的摩擦系数在0.1附近.通过Raman谱发现,所有基底上薄膜的谱图一致,这说明薄膜的结构不受基底影响.
為瞭解決類金剛石(DLC)膜在金屬基底上附著力低的睏難,本研究分彆利用瞭兩種厚度不同的Ti/TiCx/DLC過渡層和一種Ti/TiNy/TiNyCx/DLC過渡層在7種金屬基底上(W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti)製備瞭DLC薄膜.利用Si(100)基底鍍膜前後的形變,計算的薄膜應力高達3.9 GPa,這種應力在過渡層中部分釋放而製備瞭較厚(0.9 μm)DLC膜.薄膜的附著力通過拉拔試驗髮現,選擇閤適的過渡層,薄膜的附著力有很大的提高,拉拔中隻有膠被拉開.納米硬度計測試結果錶明,薄膜的硬度都在5000 Hv左右,不隨基底材料改變.往複式摩抆試驗結果顯示,穩定後的摩抆繫數在0.1附近.通過Raman譜髮現,所有基底上薄膜的譜圖一緻,這說明薄膜的結構不受基底影響.
위료해결류금강석(DLC)막재금속기저상부착력저적곤난,본연구분별이용료량충후도불동적Ti/TiCx/DLC과도층화일충Ti/TiNy/TiNyCx/DLC과도층재7충금속기저상(W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti)제비료DLC박막.이용Si(100)기저도막전후적형변,계산적박막응력고체3.9 GPa,저충응력재과도층중부분석방이제비료교후(0.9 μm)DLC막.박막적부착력통과랍발시험발현,선택합괄적과도층,박막적부착력유흔대적제고,랍발중지유효피랍개.납미경도계측시결과표명,박막적경도도재5000 Hv좌우,불수기저재료개변.왕복식마찰시험결과현시,은정후적마찰계수재0.1부근.통과Raman보발현,소유기저상박막적보도일치,저설명박막적결구불수기저영향.
