真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
4期
379-382
,共4页
霍纯青%桑利军%陈强%岳蕾%付亚波
霍純青%桑利軍%陳彊%嶽蕾%付亞波
곽순청%상리군%진강%악뢰%부아파
等离子体处理%磁控溅射%Al膜%附着力
等離子體處理%磁控濺射%Al膜%附著力
등리자체처리%자공천사%Al막%부착력
利用反应磁控溅射技术在有机玻璃(亚克力板)上完成Al的膜层制备,并进行了膜层表面的光泽度、附着力和耐腐蚀性等研究.实验发现,采用这种技术制备的Al膜具有较高的光泽度.在Al膜上沉积一层氧化硅薄膜可以提高耐腐蚀性但不会对Al膜的光泽度产生影响.但是金属薄膜在有机基材上的附着力较差,大约在6 N左右.为此可以利用Ar、O2等离子体对有机玻璃表面进行清洗,或者在薄膜表面添加过渡层,即在镀膜之前先在基材上镀一层其他材料,然后再镀金属膜.实验发现环氧材料或SiO2作为过渡层,薄膜的附着力有显著提高.但需注意提高耐腐蚀性的同时不能影响薄膜光泽度和附着力.
利用反應磁控濺射技術在有機玻璃(亞剋力闆)上完成Al的膜層製備,併進行瞭膜層錶麵的光澤度、附著力和耐腐蝕性等研究.實驗髮現,採用這種技術製備的Al膜具有較高的光澤度.在Al膜上沉積一層氧化硅薄膜可以提高耐腐蝕性但不會對Al膜的光澤度產生影響.但是金屬薄膜在有機基材上的附著力較差,大約在6 N左右.為此可以利用Ar、O2等離子體對有機玻璃錶麵進行清洗,或者在薄膜錶麵添加過渡層,即在鍍膜之前先在基材上鍍一層其他材料,然後再鍍金屬膜.實驗髮現環氧材料或SiO2作為過渡層,薄膜的附著力有顯著提高.但需註意提高耐腐蝕性的同時不能影響薄膜光澤度和附著力.
이용반응자공천사기술재유궤파리(아극력판)상완성Al적막층제비,병진행료막층표면적광택도、부착력화내부식성등연구.실험발현,채용저충기술제비적Al막구유교고적광택도.재Al막상침적일층양화규박막가이제고내부식성단불회대Al막적광택도산생영향.단시금속박막재유궤기재상적부착력교차,대약재6 N좌우.위차가이이용Ar、O2등리자체대유궤파리표면진행청세,혹자재박막표면첨가과도층,즉재도막지전선재기재상도일층기타재료,연후재도금속막.실험발현배양재료혹SiO2작위과도층,박막적부착력유현저제고.단수주의제고내부식성적동시불능영향박막광택도화부착력.