新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2008年
7期
37-40
,共4页
夏绍灵%彭进%邹文俊%张琳琪
夏紹靈%彭進%鄒文俊%張琳琪
하소령%팽진%추문준%장림기
抛光技术%CMP技术%电解复合抛光技术
拋光技術%CMP技術%電解複閤拋光技術
포광기술%CMP기술%전해복합포광기술
随着生产技术的不断进步,为了提高抛光效果,出现了化学一机械抛光(Chemical-MechanicalPolishing,简称CMP)、电解一机械抛光、超声波一电解抛光、磁力一电解抛光等多种复合抛光技术.为适应现代工业对抛光技术进展的需要,对几种复合抛光方法的原理、特点以及应用范围进行了叙述和总结.
隨著生產技術的不斷進步,為瞭提高拋光效果,齣現瞭化學一機械拋光(Chemical-MechanicalPolishing,簡稱CMP)、電解一機械拋光、超聲波一電解拋光、磁力一電解拋光等多種複閤拋光技術.為適應現代工業對拋光技術進展的需要,對幾種複閤拋光方法的原理、特點以及應用範圍進行瞭敘述和總結.
수착생산기술적불단진보,위료제고포광효과,출현료화학일궤계포광(Chemical-MechanicalPolishing,간칭CMP)、전해일궤계포광、초성파일전해포광、자력일전해포광등다충복합포광기술.위괄응현대공업대포광기술진전적수요,대궤충복합포광방법적원리、특점이급응용범위진행료서술화총결.
