可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析
가견광파단쌍층부조형도모공진려파기설계여분석
Design and analysis of double layer resonant grating filters in the visible spectral region
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2008年 7期 4195-4201 ,共7页

    麻健勇%刘世杰%魏朝阳%晋云霞%赵元安%邵建达%范正修

    마건용%류세걸%위조양%진운하%조원안%소건체%범정수

    导模共振%平面波导%窄带滤波 導模共振%平麵波導%窄帶濾波
    도모공진%평면파도%착대려파
    基于傅里叶模式理论分析了双层浮雕型导模共振光栅的共振效应,分别讨论了光栅的槽深、剩余厚度、周期以及填充系数对峰值反射率、带宽、旁带反射率的影响.数据计算表明,欠刻蚀情形的误差宽容度远远优于过刻蚀情形,两者在光栅槽深相对误差小于15%的范围内,都能保证共振峰的衍射效率高于99.5%,在相同的误差范围内,共振峰线宽的相对误差将分别达到7%和60%,因此厚度误差集中反映在对共振线宽的改变上.另外,光栅周期和填充系数的变化将明显改变共振峰中心波长和线宽.
    기우부리협모식이론분석료쌍층부조형도모공진광책적공진효응,분별토론료광책적조심、잉여후도、주기이급전충계수대봉치반사솔、대관、방대반사솔적영향.수거계산표명,흠각식정형적오차관용도원원우우과각식정형,량자재광책조심상대오차소우15%적범위내,도능보증공진봉적연사효솔고우99.5%,재상동적오차범위내,공진봉선관적상대오차장분별체도7%화60%,인차후도오차집중반영재대공진선관적개변상.령외,광책주기화전충계수적변화장명현개변공진봉중심파장화선관.
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