物理学报
物理學報
물이학보
2008年
7期
4602-4606
,共5页
张春梅%边心超%陈强%付亚波%张跃飞
張春梅%邊心超%陳彊%付亞波%張躍飛
장춘매%변심초%진강%부아파%장약비
碳纳米管%介质阻挡放电%水%发射光谱
碳納米管%介質阻擋放電%水%髮射光譜
탄납미관%개질조당방전%수%발사광보
利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术,在蒸镀有25 nm Ni催化剂层的si基片上,以CH4和H2作为反应气体,在973 K下制备了碳纳米管,并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响.场发射扫描电子显微镜结果表明,不加水时,制备出的碳纳米管直径不均匀,分布在加-90 nm之间,呈链节状的结构;加入少量水时,制备出的碳纳米管直径比较均匀,集中在70 nm左右,表面为瘤状结构;当水的流量进一步增加时,得到的碳纳米管表面光滑,出现了枝状结构.原位测量了加水前后等离子体区的发射光谱,分析了微量水的引入对于碳纳米管形貌变化的影响机理.
利用介質阻擋放電等離子體化學氣相沉積技術,在蒸鍍有25 nm Ni催化劑層的si基片上,以CH4和H2作為反應氣體,在973 K下製備瞭碳納米管,併研究瞭微量水的引入對碳納米管形貌的影響.場髮射掃描電子顯微鏡結果錶明,不加水時,製備齣的碳納米管直徑不均勻,分佈在加-90 nm之間,呈鏈節狀的結構;加入少量水時,製備齣的碳納米管直徑比較均勻,集中在70 nm左右,錶麵為瘤狀結構;噹水的流量進一步增加時,得到的碳納米管錶麵光滑,齣現瞭枝狀結構.原位測量瞭加水前後等離子體區的髮射光譜,分析瞭微量水的引入對于碳納米管形貌變化的影響機理.
이용개질조당방전등리자체화학기상침적기술,재증도유25 nm Ni최화제층적si기편상,이CH4화H2작위반응기체,재973 K하제비료탄납미관,병연구료미량수적인입대탄납미관형모적영향.장발사소묘전자현미경결과표명,불가수시,제비출적탄납미관직경불균균,분포재가-90 nm지간,정련절상적결구;가입소량수시,제비출적탄납미관직경비교균균,집중재70 nm좌우,표면위류상결구;당수적류량진일보증가시,득도적탄납미관표면광활,출현료지상결구.원위측량료가수전후등리자체구적발사광보,분석료미량수적인입대우탄납미관형모변화적영향궤리.
