物理学报
物理學報
물이학보
2008年
7期
4471-4475
,共5页
张伟英%邬小鹏%孙利杰%林碧霞%傅竹西
張偉英%鄔小鵬%孫利傑%林碧霞%傅竹西
장위영%오소붕%손리걸%림벽하%부죽서
ZnO薄膜%异质结%光电转换%光谱响应
ZnO薄膜%異質結%光電轉換%光譜響應
ZnO박막%이질결%광전전환%광보향응
利用直流反应溅射方法在p型si衬底上生长掺Al的n型ZnO薄膜,测量了由n型ZnO薄膜和p型Si衬底组成的异质结在黑暗和光照条件下的I-V特性,结果表明该异质结具有优良的整流特性,而且在光照条件下的反向电流迅速增大并很快趋于饱和.通过测量ZnO薄膜的光电流和异质结的光电压的光谱响应,初步分析了异质结的光电转换机理.测量结果显示,在入射光波长为380 nm时光电流强度明显下降,反映出光电流与ZnO薄膜禁带宽度的密切关系;同时还发现,在与ZnO禁带宽度相对应的波长前后所产生的光生电压方向相反.推测这一现象与异质结的能带结构密切相关.
利用直流反應濺射方法在p型si襯底上生長摻Al的n型ZnO薄膜,測量瞭由n型ZnO薄膜和p型Si襯底組成的異質結在黑暗和光照條件下的I-V特性,結果錶明該異質結具有優良的整流特性,而且在光照條件下的反嚮電流迅速增大併很快趨于飽和.通過測量ZnO薄膜的光電流和異質結的光電壓的光譜響應,初步分析瞭異質結的光電轉換機理.測量結果顯示,在入射光波長為380 nm時光電流彊度明顯下降,反映齣光電流與ZnO薄膜禁帶寬度的密切關繫;同時還髮現,在與ZnO禁帶寬度相對應的波長前後所產生的光生電壓方嚮相反.推測這一現象與異質結的能帶結構密切相關.
이용직류반응천사방법재p형si츤저상생장참Al적n형ZnO박막,측량료유n형ZnO박막화p형Si츤저조성적이질결재흑암화광조조건하적I-V특성,결과표명해이질결구유우량적정류특성,이차재광조조건하적반향전류신속증대병흔쾌추우포화.통과측량ZnO박막적광전류화이질결적광전압적광보향응,초보분석료이질결적광전전환궤리.측량결과현시,재입사광파장위380 nm시광전류강도명현하강,반영출광전류여ZnO박막금대관도적밀절관계;동시환발현,재여ZnO금대관도상대응적파장전후소산생적광생전압방향상반.추측저일현상여이질결적능대결구밀절상관.
