光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2009年
9期
2585-2589
,共5页
刘洪喜%蒋业华%詹兆麟%汤宝寅
劉洪喜%蔣業華%詹兆麟%湯寶寅
류홍희%장업화%첨조린%탕보인
XPS分析%等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)%氮化钛薄膜%轴承钢
XPS分析%等離子體浸沒離子註入與沉積(PIIID)%氮化鈦薄膜%軸承鋼
XPS분석%등리자체침몰리자주입여침적(PIIID)%담화태박막%축승강
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜.膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征;膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出TiN膜结晶完整,结构致密均匀.XRD测试结果表明,TiN在(200)晶面衍射峰最强,具有择优取向.Ti(2p)的XPS谱峰泰勒拟合分析揭示出,Ti(2p1/2)峰和Ti23/2峰均有双峰出现,表明氮化物中的Ti至少存在不同的化学状态;N(1s)的XPS谱峰在396.51,397.22和399.01 eV附近出现了三个分峰,分别对应于TiNxOy,TiN和N-N键中的氮原子.结合O(1s)的XPS结果,证实膜层中除牛成有稳定的TiN相外,还有少量钛的氧化物和未参与反应的单质氮.整个膜层是由TiN,TiO2,Ti-O-N化合物和少量单质氮组成的复合体系.
用等離子體浸沒離子註入與沉積(PIIID)複閤彊化新技術在AISI52100軸承鋼基體錶麵成功閤成瞭硬而耐磨的氮化鈦薄膜.膜層錶麵的化學組成和相結構分彆用X射線衍射(XRD)和X射線光電子能譜(XPS)錶徵;膜層錶麵的原子力顯微鏡(AFM)形貌顯示齣TiN膜結晶完整,結構緻密均勻.XRD測試結果錶明,TiN在(200)晶麵衍射峰最彊,具有擇優取嚮.Ti(2p)的XPS譜峰泰勒擬閤分析揭示齣,Ti(2p1/2)峰和Ti23/2峰均有雙峰齣現,錶明氮化物中的Ti至少存在不同的化學狀態;N(1s)的XPS譜峰在396.51,397.22和399.01 eV附近齣現瞭三箇分峰,分彆對應于TiNxOy,TiN和N-N鍵中的氮原子.結閤O(1s)的XPS結果,證實膜層中除牛成有穩定的TiN相外,還有少量鈦的氧化物和未參與反應的單質氮.整箇膜層是由TiN,TiO2,Ti-O-N化閤物和少量單質氮組成的複閤體繫.
용등리자체침몰리자주입여침적(PIIID)복합강화신기술재AISI52100축승강기체표면성공합성료경이내마적담화태박막.막층표면적화학조성화상결구분별용X사선연사(XRD)화X사선광전자능보(XPS)표정;막층표면적원자력현미경(AFM)형모현시출TiN막결정완정,결구치밀균균.XRD측시결과표명,TiN재(200)정면연사봉최강,구유택우취향.Ti(2p)적XPS보봉태륵의합분석게시출,Ti(2p1/2)봉화Ti23/2봉균유쌍봉출현,표명담화물중적Ti지소존재불동적화학상태;N(1s)적XPS보봉재396.51,397.22화399.01 eV부근출현료삼개분봉,분별대응우TiNxOy,TiN화N-N건중적담원자.결합O(1s)적XPS결과,증실막층중제우성유은정적TiN상외,환유소량태적양화물화미삼여반응적단질담.정개막층시유TiN,TiO2,Ti-O-N화합물화소량단질담조성적복합체계.
