清洗世界
清洗世界
청세세계
CHEMICAL CLEANING
2013年
1期
42-46
,共5页
RCA清洗工艺%化学清洗%清洗设备%全自动设备
RCA清洗工藝%化學清洗%清洗設備%全自動設備
RCA청세공예%화학청세%청세설비%전자동설비
RCA清洗工艺是一种在半导体制造过程中被广泛应用的工艺,是去除硅片表面各类玷污的有效方法.本文介绍了RCA清洗工艺的原理、过程以及应用,并详细介绍了全自动半导体RCA清洗机的组成、各单元结构及功能.
RCA清洗工藝是一種在半導體製造過程中被廣汎應用的工藝,是去除硅片錶麵各類玷汙的有效方法.本文介紹瞭RCA清洗工藝的原理、過程以及應用,併詳細介紹瞭全自動半導體RCA清洗機的組成、各單元結構及功能.
RCA청세공예시일충재반도체제조과정중피엄범응용적공예,시거제규편표면각류점오적유효방법.본문개소료RCA청세공예적원리、과정이급응용,병상세개소료전자동반도체RCA청세궤적조성、각단원결구급공능.
