强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
12期
2911-2914
,共4页
电子回旋共振离子源%微波窗%表面处理%引出系统
電子迴鏇共振離子源%微波窗%錶麵處理%引齣繫統
전자회선공진리자원%미파창%표면처리%인출계통
介绍一台2.45 GHz永磁强流电子回旋共振离子源,其外径160 mm,高90 mm,放电室直径70mm,高50 mm.微波馈人采用介质耦合方式,微波窗由一块φ50 mm×10 mm柱形BN和两块φ30 mm×10mm的柱形陶瓷构成.离子源工作在脉冲模式下,采用三电极引出系统,最高引出电压达到100 kV,在微波输入功率300 W、进气量0.4 mL/min时,可引出峰值超过30 mA的氮离子束,在距离离子源引出孔1200mm位置处的束流均匀区直径大于200 mm.
介紹一檯2.45 GHz永磁彊流電子迴鏇共振離子源,其外徑160 mm,高90 mm,放電室直徑70mm,高50 mm.微波饋人採用介質耦閤方式,微波窗由一塊φ50 mm×10 mm柱形BN和兩塊φ30 mm×10mm的柱形陶瓷構成.離子源工作在脈遲模式下,採用三電極引齣繫統,最高引齣電壓達到100 kV,在微波輸入功率300 W、進氣量0.4 mL/min時,可引齣峰值超過30 mA的氮離子束,在距離離子源引齣孔1200mm位置處的束流均勻區直徑大于200 mm.
개소일태2.45 GHz영자강류전자회선공진리자원,기외경160 mm,고90 mm,방전실직경70mm,고50 mm.미파궤인채용개질우합방식,미파창유일괴φ50 mm×10 mm주형BN화량괴φ30 mm×10mm적주형도자구성.리자원공작재맥충모식하,채용삼전겁인출계통,최고인출전압체도100 kV,재미파수입공솔300 W、진기량0.4 mL/min시,가인출봉치초과30 mA적담리자속,재거리리자원인출공1200mm위치처적속류균균구직경대우200 mm.
