He-O2高气压下电容耦合辉光放电数值分析
He-O2고기압하전용우합휘광방전수치분석
Simulation of capacitively coupled high-pressure glow discharge in He-O2
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2012年 12期 2841-2847 ,共7页

    彭庆军%司马文霞%杨庆%袁涛%刘兴华%邹立峰%李玉森

    팽경군%사마문하%양경%원도%류흥화%추립봉%리옥삼

    流体力学模型%电容耦合辉光放电%粒子数密度%空间电荷密度 流體力學模型%電容耦閤輝光放電%粒子數密度%空間電荷密度
    류체역학모형%전용우합휘광방전%입자수밀도%공간전하밀도
    采用一维的等离子体流体力学模型研究了氦气-氧气高气压下电容耦合放电过程.分别给出了间隙为1.6,2.4和3.2 mm时外加电压的有效值与放电电流有效值特征曲线,并与已有的实验数据作对比,结果表明计算得到的电压-电流特征曲线与实验数据符合得很好.研究发现:氦气氧气高气压下电容耦合放电过程中荷质比较大的离子在鞘层中的分布随着外电场的变化而变化,而荷质比较小的粒子在整个放电区域基本不随外电场变化而变化；同时杂质形成正负离子在主等离子体区域两端出现了峰值.
    채용일유적등리자체류체역학모형연구료양기-양기고기압하전용우합방전과정.분별급출료간극위1.6,2.4화3.2 mm시외가전압적유효치여방전전류유효치특정곡선,병여이유적실험수거작대비,결과표명계산득도적전압-전류특정곡선여실험수거부합득흔호.연구발현:양기양기고기압하전용우합방전과정중하질비교대적리자재초층중적분포수착외전장적변화이변화,이하질비교소적입자재정개방전구역기본불수외전장변화이변화；동시잡질형성정부리자재주등리자체구역량단출현료봉치.
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