电子质量
電子質量
전자질량
ELECTRONICS QUALITY
2014年
1期
20-21
,共2页
一维纳米结构%纳米线%尺寸%干法刻蚀技术
一維納米結構%納米線%呎吋%榦法刻蝕技術
일유납미결구%납미선%척촌%간법각식기술
近年来,一维纳米结构:纳米管、纳米线、纳米带等,引起了人们的广泛关注.如何制备高质量的纳米结构依然是我们面临的巨大挑战.该文通过干法刻蚀技术制备的纳米线阵列来突出说明该技术今后的发展是多样化的,而且仍然方兴未艾.
近年來,一維納米結構:納米管、納米線、納米帶等,引起瞭人們的廣汎關註.如何製備高質量的納米結構依然是我們麵臨的巨大挑戰.該文通過榦法刻蝕技術製備的納米線陣列來突齣說明該技術今後的髮展是多樣化的,而且仍然方興未艾.
근년래,일유납미결구:납미관、납미선、납미대등,인기료인문적엄범관주.여하제비고질량적납미결구의연시아문면림적거대도전.해문통과간법각식기술제비적납미선진렬래돌출설명해기술금후적발전시다양화적,이차잉연방흥미애.
