强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2010年
2期
327-330
,共4页
赵松楠%吕海兵%王韬%袁晓东%郑万国
趙鬆楠%呂海兵%王韜%袁曉東%鄭萬國
조송남%려해병%왕도%원효동%정만국
椭偏仪%多层膜%溶胶-凝胶%渗透%透射率
橢偏儀%多層膜%溶膠-凝膠%滲透%透射率
타편의%다층막%용효-응효%삼투%투사솔
ellipsometer%multi-layer film%sol-gel%infiltration%transmittance
分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO_2和SiO_2溶胶.用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了SiO_2单层膜、ZrO_2单层膜和ZrO_2/SiO_2/ZrO_2三层膜.采用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率,用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透过率,利用TFCalc_Demo模系设计软件,采用三层理论模型对薄膜的透过率进行模拟,用扫描电镜(SEM)观察了三层膜的断面结构,用X射线光电子能谱仪(XPS)测量了薄膜的成分随深度方向的变化,进一步验证了ZrO_2/SiO_2/ZrO_2三层膜之间的渗透关系,同时对多层膜的界面结构探测方法起到了借鉴作用.
分彆以丙醇鋯和正硅痠乙酯為原料,採用溶膠-凝膠工藝製備瞭性能穩定的ZrO_2和SiO_2溶膠.用鏇轉鍍膜法在K9玻璃上分彆製備瞭SiO_2單層膜、ZrO_2單層膜和ZrO_2/SiO_2/ZrO_2三層膜.採用橢偏儀測量薄膜的厚度與摺射率,用紫外-可見分光光度計測量瞭薄膜的透過率,利用TFCalc_Demo模繫設計軟件,採用三層理論模型對薄膜的透過率進行模擬,用掃描電鏡(SEM)觀察瞭三層膜的斷麵結構,用X射線光電子能譜儀(XPS)測量瞭薄膜的成分隨深度方嚮的變化,進一步驗證瞭ZrO_2/SiO_2/ZrO_2三層膜之間的滲透關繫,同時對多層膜的界麵結構探測方法起到瞭藉鑒作用.
분별이병순고화정규산을지위원료,채용용효-응효공예제비료성능은정적ZrO_2화SiO_2용효.용선전도막법재K9파리상분별제비료SiO_2단층막、ZrO_2단층막화ZrO_2/SiO_2/ZrO_2삼층막.채용타편의측량박막적후도여절사솔,용자외-가견분광광도계측량료박막적투과솔,이용TFCalc_Demo모계설계연건,채용삼층이론모형대박막적투과솔진행모의,용소묘전경(SEM)관찰료삼층막적단면결구,용X사선광전자능보의(XPS)측량료박막적성분수심도방향적변화,진일보험증료ZrO_2/SiO_2/ZrO_2삼층막지간적삼투관계,동시대다층막적계면결구탐측방법기도료차감작용.
