强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2010年
2期
319-322
,共4页
汉语%伍凡%万勇建%房凯
漢語%伍凡%萬勇建%房凱
한어%오범%만용건%방개
光学加工%被动半刚性磨盘%应力分析%中频误差%非球面
光學加工%被動半剛性磨盤%應力分析%中頻誤差%非毬麵
광학가공%피동반강성마반%응력분석%중빈오차%비구면
optical fabrication%passive semi-rigid lap%strain analysis%mid-frequency errors%aspheric optics
介绍了一种去除中频误差的有效工具被动半刚性磨盘.被动半刚性磨盘由刚性基底、变形层、薄板层以及抛光层组成.这种特殊的夹层式结构使磨盘在平滑过程中具有高通滤波特性,因而能够有效去除中频误差.基于弹性力学和滤波器理论,分析了被动半钢性磨盘的平滑机理,讨论了磨盘基本参数和误差频率之间的相互关系.以一块表面具有明显中频误差的抛物面镜为实验件,对被动半刚性磨盘的平滑能力进行验证,经过2个周期(共计75 min)的平滑后,中频误差得到了有效抑制.
介紹瞭一種去除中頻誤差的有效工具被動半剛性磨盤.被動半剛性磨盤由剛性基底、變形層、薄闆層以及拋光層組成.這種特殊的夾層式結構使磨盤在平滑過程中具有高通濾波特性,因而能夠有效去除中頻誤差.基于彈性力學和濾波器理論,分析瞭被動半鋼性磨盤的平滑機理,討論瞭磨盤基本參數和誤差頻率之間的相互關繫.以一塊錶麵具有明顯中頻誤差的拋物麵鏡為實驗件,對被動半剛性磨盤的平滑能力進行驗證,經過2箇週期(共計75 min)的平滑後,中頻誤差得到瞭有效抑製.
개소료일충거제중빈오차적유효공구피동반강성마반.피동반강성마반유강성기저、변형층、박판층이급포광층조성.저충특수적협층식결구사마반재평활과정중구유고통려파특성,인이능구유효거제중빈오차.기우탄성역학화려파기이론,분석료피동반강성마반적평활궤리,토론료마반기본삼수화오차빈솔지간적상호관계.이일괴표면구유명현중빈오차적포물면경위실험건,대피동반강성마반적평활능력진행험증,경과2개주기(공계75 min)적평활후,중빈오차득도료유효억제.
