太阳能
太暘能
태양능
SOLAR ENERGY
2010年
2期
29-32
,共4页
蒋娜%袁小武%张才勇
蔣娜%袁小武%張纔勇
장나%원소무%장재용
单晶硅%真空高阻%磁场%氧含量%氮掺杂
單晶硅%真空高阻%磁場%氧含量%氮摻雜
단정규%진공고조%자장%양함량%담참잡
综述了单晶硅生长技术的研究现状.对改良热场技术、磁场直拉技术、真空高阻技术以及氧浓度的控制等技术进行了论述.
綜述瞭單晶硅生長技術的研究現狀.對改良熱場技術、磁場直拉技術、真空高阻技術以及氧濃度的控製等技術進行瞭論述.
종술료단정규생장기술적연구현상.대개량열장기술、자장직랍기술、진공고조기술이급양농도적공제등기술진행료논술.
