浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2010年
2期
254-258
,共5页
张瑞丽%杜红文%张亚萍%杜平凡%问明亮%张秀芳%席珍强
張瑞麗%杜紅文%張亞萍%杜平凡%問明亮%張秀芳%席珍彊
장서려%두홍문%장아평%두평범%문명량%장수방%석진강
PECVD%碳化硅薄膜%正交实验%减反射性能
PECVD%碳化硅薄膜%正交實驗%減反射性能
PECVD%탄화규박막%정교실험%감반사성능
利用正交实验方法,探讨PECVD法制备碳化硅薄膜沉积参数变化对其减反射性能的影响,并进一步研究不同沉积参数对薄膜沉积速率和折射率的影响规律.结果表明,沉积参数中衬底温度是影响碳化硅薄膜减反射性能的主要因素;薄膜的生长速率随着衬底温度和硅烷与甲烷流量比的升高而降低,并且薄膜的折射率随衬底温度的升高而增大,但气体流量比对折射率的影响不大.
利用正交實驗方法,探討PECVD法製備碳化硅薄膜沉積參數變化對其減反射性能的影響,併進一步研究不同沉積參數對薄膜沉積速率和摺射率的影響規律.結果錶明,沉積參數中襯底溫度是影響碳化硅薄膜減反射性能的主要因素;薄膜的生長速率隨著襯底溫度和硅烷與甲烷流量比的升高而降低,併且薄膜的摺射率隨襯底溫度的升高而增大,但氣體流量比對摺射率的影響不大.
이용정교실험방법,탐토PECVD법제비탄화규박막침적삼수변화대기감반사성능적영향,병진일보연구불동침적삼수대박막침적속솔화절사솔적영향규률.결과표명,침적삼수중츤저온도시영향탄화규박막감반사성능적주요인소;박막적생장속솔수착츤저온도화규완여갑완류량비적승고이강저,병차박막적절사솔수츤저온도적승고이증대,단기체류량비대절사솔적영향불대.
