低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2010年
1期
4-9
,共6页
单硅烷%SiH4%制备%电化学法%工艺
單硅烷%SiH4%製備%電化學法%工藝
단규완%SiH4%제비%전화학법%공예
单硅烷(SiH4)作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金属硅化物,因其高纯度和能够实现精细控制而成为至今为止世界唯一大规模生产粒状高纯硅的中间产物.介绍了SiH4的物化性质及毒性.SiH4的工业合成方法包括硅化镁法、氯硅烷或烷氧基硅烷歧化法、氯硅烷还原法等,但它们存在工艺流程复杂、设备成本高、需要对产物进行复杂的精制等问题.详细介绍了几种国外公司开发的电化学合成SiH4的装置及工艺,该类方法具有操作安全和经济、可实现高度一体化、可现场发生、以及产物精制工艺简单等优点.
單硅烷(SiH4)作為一種提供硅組分的氣體源,可用于製造多種高純度晶體硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金屬硅化物,因其高純度和能夠實現精細控製而成為至今為止世界唯一大規模生產粒狀高純硅的中間產物.介紹瞭SiH4的物化性質及毒性.SiH4的工業閤成方法包括硅化鎂法、氯硅烷或烷氧基硅烷歧化法、氯硅烷還原法等,但它們存在工藝流程複雜、設備成本高、需要對產物進行複雜的精製等問題.詳細介紹瞭幾種國外公司開髮的電化學閤成SiH4的裝置及工藝,該類方法具有操作安全和經濟、可實現高度一體化、可現場髮生、以及產物精製工藝簡單等優點.
단규완(SiH4)작위일충제공규조분적기체원,가용우제조다충고순도정체규、비정규、담화규、양화규급금속규화물,인기고순도화능구실현정세공제이성위지금위지세계유일대규모생산립상고순규적중간산물.개소료SiH4적물화성질급독성.SiH4적공업합성방법포괄규화미법、록규완혹완양기규완기화법、록규완환원법등,단타문존재공예류정복잡、설비성본고、수요대산물진행복잡적정제등문제.상세개소료궤충국외공사개발적전화학합성SiH4적장치급공예,해류방법구유조작안전화경제、가실현고도일체화、가현장발생、이급산물정제공예간단등우점.
