河南科技大学学报（自然科学版）
河南科技大學學報（自然科學版）
하남과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY OF SCIENCE & TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2010年
1期
88-90
,共3页
化学气相沉积%金刚石聚晶薄膜%场发射%陶瓷衬底
化學氣相沉積%金剛石聚晶薄膜%場髮射%陶瓷襯底
화학기상침적%금강석취정박막%장발사%도자츤저
微波等离子体化学气相沉积是制备微/纳米结构的方法之一,使用该方法在陶瓷衬底上制备微米金刚石聚晶材料薄膜.利用扫描电子显微镜表征了材料的表面形貌,单元尺寸一致,分布均匀.使用X射线衍射和拉曼光谱分析了薄膜的结构,测试了薄膜材料的电子场发射性能.数据表明:制备的薄膜材料开启电场为1.25 V/μm,在2.55 V/μm的电场下,其电子场发射电流密度达到6.3 mA/cm2.
微波等離子體化學氣相沉積是製備微/納米結構的方法之一,使用該方法在陶瓷襯底上製備微米金剛石聚晶材料薄膜.利用掃描電子顯微鏡錶徵瞭材料的錶麵形貌,單元呎吋一緻,分佈均勻.使用X射線衍射和拉曼光譜分析瞭薄膜的結構,測試瞭薄膜材料的電子場髮射性能.數據錶明:製備的薄膜材料開啟電場為1.25 V/μm,在2.55 V/μm的電場下,其電子場髮射電流密度達到6.3 mA/cm2.
미파등리자체화학기상침적시제비미/납미결구적방법지일,사용해방법재도자츤저상제비미미금강석취정재료박막.이용소묘전자현미경표정료재료적표면형모,단원척촌일치,분포균균.사용X사선연사화랍만광보분석료박막적결구,측시료박막재료적전자장발사성능.수거표명:제비적박막재료개계전장위1.25 V/μm,재2.55 V/μm적전장하,기전자장발사전류밀도체도6.3 mA/cm2.
