人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
1期
139-143
,共5页
缪存星%赵占霞%栗敏%徐飞%马忠权
繆存星%趙佔霞%慄敏%徐飛%馬忠權
무존성%조점하%률민%서비%마충권
射频磁控溅射%SZO薄膜%溅射压强%透明导电氧化物
射頻磁控濺射%SZO薄膜%濺射壓彊%透明導電氧化物
사빈자공천사%SZO박막%천사압강%투명도전양화물
radio frequency magnetron sputtering (RF-MS)%scandium-doped ZnO(SZO) thin films%sputtering pressure%transparent conducting oxide(TCO)
利用射频磁控溅射方法,采用Sc_2O_3掺杂(质量百分比2%)ZnO为靶材在石英玻璃上制备透明导电ZnO:Sc(SZO)薄膜.用X射线衍射仪、分光光度计及霍尔测试仪等对样品进行表征,分析了沉积压强从0.3 Pa到2.0 Pa的变化对SZO薄膜的微结构及光学特性的影响.XRD研究结果表明所有样品都是六角密堆积结构,而且溅射压强对SZO薄膜的微结构有着显著的影响.所有SZO薄膜的透过率在可见光区域均大于85%,近紫外区域由于吸收,透射率大大降低.
利用射頻磁控濺射方法,採用Sc_2O_3摻雜(質量百分比2%)ZnO為靶材在石英玻璃上製備透明導電ZnO:Sc(SZO)薄膜.用X射線衍射儀、分光光度計及霍爾測試儀等對樣品進行錶徵,分析瞭沉積壓彊從0.3 Pa到2.0 Pa的變化對SZO薄膜的微結構及光學特性的影響.XRD研究結果錶明所有樣品都是六角密堆積結構,而且濺射壓彊對SZO薄膜的微結構有著顯著的影響.所有SZO薄膜的透過率在可見光區域均大于85%,近紫外區域由于吸收,透射率大大降低.
이용사빈자공천사방법,채용Sc_2O_3참잡(질량백분비2%)ZnO위파재재석영파리상제비투명도전ZnO:Sc(SZO)박막.용X사선연사의、분광광도계급곽이측시의등대양품진행표정,분석료침적압강종0.3 Pa도2.0 Pa적변화대SZO박막적미결구급광학특성적영향.XRD연구결과표명소유양품도시륙각밀퇴적결구,이차천사압강대SZO박막적미결구유착현저적영향.소유SZO박막적투과솔재가견광구역균대우85%,근자외구역유우흡수,투사솔대대강저.
